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洒洒水

铁虫 (小有名气)

[交流] 【求助】PZT薄膜电极的做法 已有6人参与

刚开始做PZT薄膜请教一个问题,测量薄膜的电滞回线时,点电极怎么做,是在钛板上沉积的,是直接上面做一个点电极,下面用钛导电可以吗,谢谢
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liucq2002

木虫 (正式写手)

★ ★
csuhcb2000(金币+2):鼓励交流 2010-05-26 10:48:15
通常基底是镀有Pt的硅片,这里的Pt就是底电极。上电极可用掩膜来做,所谓的掩膜就是有很多小孔的金属片,然后用卡具(自己根据实际情况设计)将其固定于样品之上,这样沉积上电极的时候就可以形成点状——上电极也通常用Pt。不知道我说的是否明白,呵呵。
4楼2010-05-26 09:22:15
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silveruranus

铁虫 (正式写手)

★ ★
csuhcb2000(金币+1):鼓励交流 2010-05-25 08:01:17
guxue(金币+1):鼓励交流 2010-05-25 08:57:13
你的Ti是导电的吗?一般都是做到Pt上或者是导电氧化物上的啊,比如SRO,IrO2和LNO
2楼2010-05-24 13:15:24
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洒洒水

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by silveruranus at 2010-05-24 13:15:24:
你的Ti是导电的吗?一般都是做到Pt上或者是导电氧化物上的啊,比如SRO,IrO2和LNO

具体的点电极怎么做?
3楼2010-05-24 21:00:59
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silveruranus

铁虫 (正式写手)


csuhcb2000(金币+1):鼓励交流 2010-05-27 08:08:13
引用回帖:
Originally posted by liucq2002 at 2010-05-26 09:22:15:
通常基底是镀有Pt的硅片,这里的Pt就是底电极。上电极可用掩膜来做,所谓的掩膜就是有很多小孔的金属片,然后用卡具(自己根据实际情况设计)将其固定于样品之上,这样沉积上电极的时候就可以形成点状——上电极也通 ...

想弄个掩膜版也很简单,一种方法是找人加工,或者用光刻腐蚀的办法做,还有就是自己找块铜板拿针扎,呵呵,针扎大概3-4个小时做一个吧。
5楼2010-05-26 23:18:16
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