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铁虫 (小有名气)

[交流] 【求助】PZT薄膜电极的做法已有6人参与

刚开始做PZT薄膜请教一个问题，测量薄膜的电滞回线时，点电极怎么做，是在钛板上沉积的，是直接上面做一个点电极，下面用钛导电可以吗，谢谢

1楼 2010-05-20 20:32:10

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铁虫 (小有名气)

引用回帖:

Originally posted by silveruranus at 2010-05-24 13:15:24:
你的Ti是导电的吗？一般都是做到Pt上或者是导电氧化物上的啊，比如SRO，IrO2和LNO

具体的点电极怎么做？

3楼2010-05-24 21:00:59

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铁虫 (小有名气)

引用回帖:

Originally posted by silveruranus at 2010-05-26 23:18:16:

想弄个掩膜版也很简单，一种方法是找人加工，或者用光刻腐蚀的办法做，还有就是自己找块铜板拿针扎，呵呵，针扎大概3-4个小时做一个吧。

那具体的点电极的大小是怎么确定的呢，谢谢
能QQ或许其他方式给你交流吗
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6楼2010-05-28 15:33:58

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