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【讨论】XRR(X射线反射)震荡峰的周期不一致
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renk123
金虫
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帖子: 117
在线: 29.1小时
虫号: 810222
注册: 2009-07-16
专业: 半导体材料
[交流]
【讨论】XRR(X射线反射)震荡峰的周期不一致
已有1人参与
最近做了一次XRR测单层膜膜厚的实验,发现其中的震荡峰周期随掠入射角度的变化而变化,有些随角度增加增加的,有些随角度增加减小,请教各位大侠,这是什么因素引起的?
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1楼
2010-05-14 09:00:01
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baby22
铁虫
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帖子: 12
在线: 17.8小时
虫号: 1297212
注册: 2011-05-16
性别:
MM
专业: 高分子组装与超分子结构
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
想咨询楼主,用什么仪器可以测XRR呢?我想用XRR测干涉条纹,求膜厚。
赞
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期待有所收获。。
2楼
2014-03-19 10:39:04
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