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曾是一条鱼3968

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】XPS分析时采用的Ar离子刻蚀速度通常是多少呢 已有6人参与

我做了一次XPS分析,听老师的意见做了10min的Ar离子刻蚀,但忘记问老师刻蚀速度是多少了,不知道这十分钟刻蚀掉多厚,请问哪位大侠对这方面有了解,请帮帮我,谢谢啦
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guojun1029

银虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
用多大的能量,比如500eV 1000eV的能量刻,只是出去表面的氧化层或者碳。
8楼2012-01-11 17:14:16
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