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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】怎样制备薄膜的TEM测试样
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qwcmos

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】怎样制备薄膜的TEM测试样

我是用磁控溅射在Si上面沉积的薄膜，厚度大约在40nm-100nm之间，每次磨样都碎，我想在用于制备粉末样品的铜网上面直接沉积薄膜，又担心原子会直接透过孔洞，大家有没有别的好方法或者是无孔洞超薄载体？
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1楼 2010-03-19 14:47:08
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doesun

新虫 (小有名气)
★
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引用回帖:
Originally posted by qwcmos at 2010-03-19 14:47:08:
我是用磁控溅射在Si上面沉积的薄膜，厚度大约在40nm-100nm之间，每次磨样都碎，我想在用于制备粉末样品的铜网上面直接沉积薄膜，又担心原子会直接透过孔洞，大家有没有别的好方法或者是无孔洞超薄载体？

把样品给上海doesun吧，制样和场发射TEM高分辨分析总收费1500元，10个工作日

上海doesun.com，国内首家实现TEM薄膜截面制样量产的公司，欢迎大家联系。

DE针对薄膜科技的深度研发需求下精密的电子显微分析的制样瓶颈，凭借多年实战经验，实现了传统的研磨与离子减薄工艺的量产能力。DE作为国内第一家民营的TEM截面(TEM剖面)分析代实验服务商：OER（Original Equipment Research），致力于满足客户对薄膜膜层厚度，元素分布，薄膜生长等大通量高速度电子显微分析的需求，并已实现市场盈利。

第一，对粘10分钟，将薄膜清洗后，相对地用AB胶粘住。
       第二，烘干2h，将胶水热固化。
       第三，冷却1h，自然冷却固化好的样品。
       第四，腊粘2h，将对粘样品用腊粘在研磨托上，并自然冷却。
       第五，研磨2h，分别用500，1000，2000，3000和5000号砂纸研磨并抛光表面。
       第六，反粘2h，将抛光面反粘在研磨托上，并自然冷却。
       第七，研磨3h，分别用500，1000，2000，3000和5000号砂纸将样品研磨到小于10微米，并抛光表面。
       第八，去蜡5h，用丙酮浸泡自然去蜡。
       第九，粘环3h，将样品用AB胶粘在铜环上，热固化并自然冷却。
       第十，离子减薄2--5h，用离子减薄制作薄区。

[ Last edited by doesun on 2010-3-24 at 12:24 ]
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DOESUN中国首家透射电镜截面制样商 15800691931
6楼2010-03-23 18:45:18
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jlccer

木虫 (正式写手)
★ ★
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化学小工(金币+1):鼓励交流 2010-03-20 08:54
你可以试一下FIB方法，或者将你的材料层堆起来，用粘接剂粘接起来在切割磨样。
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2楼2010-03-19 15:24:19
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leking137joey

金虫 (正式写手)

材料小生
★
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引用回帖:
Originally posted by jlccer at 2010-03-19 15:24:19:
你可以试一下FIB方法，或者将你的材料层堆起来，用粘接剂粘接起来在切割磨样。

楼上可以稍微具体地解释下FIB方法吗？我最近也遇到类似的问题了。
还有层堆法是不是说把好几个片粘到一起，然后用其横向制样？看样品的时候就可以看到好多层涂层的结构？
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材料热力学;材料微观表征;TEM;
3楼2010-03-19 15:28:44
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qwcmos

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by jlccer at 2010-03-19 15:24:19:
你可以试一下FIB方法，或者将你的材料层堆起来，用粘接剂粘接起来在切割磨样。

Fib方法，这个方法成本是不是很高，我有很多的样品需要制备，需要一种性均价比最高的方法。还有你说的“材料层堆起来”是什么意思，能说的详细点吗？

[ Last edited by qwcmos on 2010-3-19 at 16:11 ]
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4楼2010-03-19 16:04:29
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