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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】怎样制备薄膜的TEM测试样
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qwcmos

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】怎样制备薄膜的TEM测试样

我是用磁控溅射在Si上面沉积的薄膜，厚度大约在40nm-100nm之间，每次磨样都碎，我想在用于制备粉末样品的铜网上面直接沉积薄膜，又担心原子会直接透过孔洞，大家有没有别的好方法或者是无孔洞超薄载体？
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1楼 2010-03-19 14:47:08
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qwcmos

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by jlccer at 2010-03-19 15:24:19:
你可以试一下FIB方法，或者将你的材料层堆起来，用粘接剂粘接起来在切割磨样。

Fib方法，这个方法成本是不是很高，我有很多的样品需要制备，需要一种性均价比最高的方法。还有你说的“材料层堆起来”是什么意思，能说的详细点吗？

[ Last edited by qwcmos on 2010-3-19 at 16:11 ]
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4楼2010-03-19 16:04:29
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jlccer

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
化学小工(金币+1):鼓励交流 2010-03-20 08:54
你可以试一下FIB方法，或者将你的材料层堆起来，用粘接剂粘接起来在切割磨样。
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2楼2010-03-19 15:24:19
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leking137joey

金虫 (正式写手)

材料小生
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by jlccer at 2010-03-19 15:24:19:
你可以试一下FIB方法，或者将你的材料层堆起来，用粘接剂粘接起来在切割磨样。

楼上可以稍微具体地解释下FIB方法吗？我最近也遇到类似的问题了。
还有层堆法是不是说把好几个片粘到一起，然后用其横向制样？看样品的时候就可以看到好多层涂层的结构？
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材料热力学;材料微观表征;TEM;
3楼2010-03-19 15:28:44
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jlccer

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
化学小工(金币+1):感谢交流 2010-03-23 01:10
FIB收费还是挺高的，我没有具体做过，但是听说清华能做，估计大概一个样要几百吧。层堆的方法具体就是三楼说的那样，不过要根据式样的种类（比如基板和涂层厚度），还有就是对粘接剂要求挺高的，你可以具体问问做TEM的专业人员
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5楼2010-03-22 12:37:17
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