应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】怎样制备薄膜的TEM测试样
61/1返回列表
查看: 589  |  回复: 5
只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。

qwcmos

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】怎样制备薄膜的TEM测试样

我是用磁控溅射在Si上面沉积的薄膜，厚度大约在40nm-100nm之间，每次磨样都碎，我想在用于制备粉末样品的铜网上面直接沉积薄膜，又担心原子会直接透过孔洞，大家有没有别的好方法或者是无孔洞超薄载体？
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼2010-03-19 14:47:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jlccer

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
化学小工(金币+1):鼓励交流 2010-03-20 08:54
你可以试一下FIB方法，或者将你的材料层堆起来，用粘接剂粘接起来在切割磨样。
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2010-03-19 15:24:19
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leking137joey

金虫 (正式写手)

材料小生
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by jlccer at 2010-03-19 15:24:19:
你可以试一下FIB方法，或者将你的材料层堆起来，用粘接剂粘接起来在切割磨样。

楼上可以稍微具体地解释下FIB方法吗？我最近也遇到类似的问题了。
还有层堆法是不是说把好几个片粘到一起，然后用其横向制样？看样品的时候就可以看到好多层涂层的结构？
赞一下(1人) 回复此楼
材料热力学;材料微观表征;TEM;
3楼2010-03-19 15:28:44
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qwcmos

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by jlccer at 2010-03-19 15:24:19:
你可以试一下FIB方法，或者将你的材料层堆起来，用粘接剂粘接起来在切割磨样。

Fib方法，这个方法成本是不是很高，我有很多的样品需要制备，需要一种性均价比最高的方法。还有你说的“材料层堆起来”是什么意思，能说的详细点吗？

[ Last edited by qwcmos on 2010-3-19 at 16:11 ]
赞一下 回复此楼
4楼2010-03-19 16:04:29
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jlccer

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
化学小工(金币+1):感谢交流 2010-03-23 01:10
FIB收费还是挺高的，我没有具体做过，但是听说清华能做，估计大概一个样要几百吧。层堆的方法具体就是三楼说的那样，不过要根据式样的种类（比如基板和涂层厚度），还有就是对粘接剂要求挺高的，你可以具体问问做TEM的专业人员
赞一下(2人) 回复此楼
5楼2010-03-22 12:37:17
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

doesun

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by qwcmos at 2010-03-19 14:47:08:
我是用磁控溅射在Si上面沉积的薄膜，厚度大约在40nm-100nm之间，每次磨样都碎，我想在用于制备粉末样品的铜网上面直接沉积薄膜，又担心原子会直接透过孔洞，大家有没有别的好方法或者是无孔洞超薄载体？

把样品给上海doesun吧，制样和场发射TEM高分辨分析总收费1500元，10个工作日

上海doesun.com，国内首家实现TEM薄膜截面制样量产的公司，欢迎大家联系。

DE针对薄膜科技的深度研发需求下精密的电子显微分析的制样瓶颈，凭借多年实战经验，实现了传统的研磨与离子减薄工艺的量产能力。DE作为国内第一家民营的TEM截面(TEM剖面)分析代实验服务商：OER（Original Equipment Research），致力于满足客户对薄膜膜层厚度，元素分布，薄膜生长等大通量高速度电子显微分析的需求，并已实现市场盈利。

第一，对粘10分钟，将薄膜清洗后，相对地用AB胶粘住。
       第二，烘干2h，将胶水热固化。
       第三，冷却1h，自然冷却固化好的样品。
       第四，腊粘2h，将对粘样品用腊粘在研磨托上，并自然冷却。
       第五，研磨2h，分别用500，1000，2000，3000和5000号砂纸研磨并抛光表面。
       第六，反粘2h，将抛光面反粘在研磨托上，并自然冷却。
       第七，研磨3h，分别用500，1000，2000，3000和5000号砂纸将样品研磨到小于10微米，并抛光表面。
       第八，去蜡5h，用丙酮浸泡自然去蜡。
       第九，粘环3h，将样品用AB胶粘在铜环上，热固化并自然冷却。
       第十，离子减薄2--5h，用离子减薄制作薄区。

[ Last edited by doesun on 2010-3-24 at 12:24 ]
赞一下(2人) 回复此楼
DOESUN中国首家透射电镜截面制样商 15800691931
6楼2010-03-23 18:45:18
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 qwcmos 的主题更新
61/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复(可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭