| 查看: 643 | 回复: 2 | ||||
| 当前主题已经存档。 | ||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||
senpeng铜虫 (小有名气)
|
[交流]
【求助】问下光刻工艺中"侧壁角"的问题
|
|||
|
各位高手,请问侧壁角是什么原因造成的?光刻胶厚度越大,侧壁角有没有什么变化?如果是接触式曝光,光刻胶表面图形比掩模版大和侧壁角问题有没有关系? 谢谢 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 光刻胶 |
» 猜你喜欢
湖北师范大学复试调剂
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化工学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高-每届发展好
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有233人回复
-
济南大学国家优青课题组 2026 调剂招生来啦
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高发展好-欢迎各位同学
已经有0人回复
-
西华大学 化学 调剂有名额
已经有0人回复
-
上海应用技术大学招生调剂研究生
已经有7人回复
3楼2010-02-05 14:51:57
quanbaogang
木虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3449.9
- 帖子: 472
- 在线: 55.3小时
- 虫号: 273719
- 注册: 2006-08-20
- 性别: GG
- 专业: 物理化学
2楼2010-02-05 14:25:41
10