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senpeng铜虫 (小有名气)
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【求助】问下光刻工艺中"侧壁角"的问题
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各位高手,请问侧壁角是什么原因造成的?光刻胶厚度越大,侧壁角有没有什么变化?如果是接触式曝光,光刻胶表面图形比掩模版大和侧壁角问题有没有关系? 谢谢 |
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quanbaogang
木虫 (正式写手)
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2楼2010-02-05 14:25:41
3楼2010-02-05 14:51:57