应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】问下光刻工艺中"侧壁角"的问题
31/1返回列表
查看: 651  |  回复: 2
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。

senpeng

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】问下光刻工艺中"侧壁角"的问题

各位高手,请问侧壁角是什么原因造成的?光刻胶厚度越大,侧壁角有没有什么变化?如果是接触式曝光,光刻胶表面图形比掩模版大和侧壁角问题有没有关系?

谢谢
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

光刻胶

» 猜你喜欢
1楼 2010-01-25 14:53:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanbaogang

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
一般来讲光学曝光受衍射现象的影响很大，特别是接触式光刻。另一方面是由于光刻胶对光有吸收，上面的胶吸收大。从这两方面来看，对于正胶，显影之后会出现over-cut。这就是你说的侧壁角的形成。
侧壁角应该在一定程度上与胶厚成正比，所以选择涂比较薄的胶可能会好些。
最后的问题没有看懂。什么是“光刻胶表面图形比掩模板大”？由于存在衍射，越是密集的细线条就越难获得陡直的剖面，所以侧壁角的控制要看你想得到多大线宽的结构和线条之间的间距了。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2010-02-05 14:25:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Sduwl

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我也正在解决类似的问题
这个现象应该跟用的胶也有关系
诚如2楼所言，接触式曝光过程中衍射对光刻胶深度方向的曝光量有很大的影响

但是好像进口的胶如AZ的都能够得到近似垂直的侧壁

不知道楼主的胶厚是多少？
如果超过20um的话是不是应该尝试负胶
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2010-02-05 14:51:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 senpeng 的主题更新
31/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 申博/考博 +3 啃面包的小书虫 2026-04-17 4/200 2026-04-17 23:54 by 阳阳阳^_^
[考研] 304求调剂 +7 castLight 2026-04-16 7/350 2026-04-17 20:05 by 关一盏灯cd
[考研] 307中医考研调剂 +6 于以采蘩 2026-04-14 6/300 2026-04-16 16:20 by qingfeng258
[考研] 327求调剂 +26 Xxjc1107. 2026-04-13 29/1450 2026-04-16 10:52 by Espannnnnol
[考研] 药学求调剂 +14 喽哈加油 2026-04-14 16/800 2026-04-16 10:15 by beilsong20
[考研] 290调剂生物0860 +38 哇哈哈，。 2026-04-11 44/2200 2026-04-16 09:52 by cuisz
[考研] 求调剂推荐 +8 小聂爱学习 2026-04-14 8/400 2026-04-16 07:22 by 学员JpLReM
[考研] 求调剂学校 +14 不会吃肉 2026-04-13 16/800 2026-04-15 21:59 by noqvsozv
[考研] 一志愿A区211，22408 321求调剂 +6 随心所欲☆ 2026-04-15 7/350 2026-04-15 21:45 by lbsjt
[考研] 085404 22408 309分求调剂 +9 lzmk 2026-04-14 10/500 2026-04-15 20:02 by 学员JpLReM
[考研] 310求调剂 +16 666真好 2026-04-11 18/900 2026-04-15 13:28 by 黑科技矿业
[考研] 271求调剂 +35 2261744733 2026-04-11 41/2050 2026-04-14 15:36 by zs92450
[考研] 求调剂 +12 何气正 2026-04-13 13/650 2026-04-14 14:47 by zs92450
[考研] 085600材料与化工329分求调剂 +24 叶zilin 2026-04-13 25/1250 2026-04-14 09:20 by 试管破裂
[考研] 考研英一数一338分 +9 长江大学东校区 2026-04-13 10/500 2026-04-14 00:41 by 王珺璞
[考研] 。 +10 李多米lee. 2026-04-12 11/550 2026-04-12 22:58 by yuyin1233
[考研] 0831一轮调剂失败求助 +10 小熊睿睿_s 2026-04-11 10/500 2026-04-12 22:43 by 长弓傲
[考研] 一志愿浙大生物325分求调剂 +9 zysheng 2026-04-12 9/450 2026-04-12 22:31 by yuyin1233
[考研] 346分，工科0854求调剂，专硕 +6 moser233 2026-04-12 7/350 2026-04-12 22:11 by fqwang
[考研] 270求调剂 +14 杨乐369 2026-04-11 14/700 2026-04-11 20:16 by 蓝云思雨
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭