| 查看: 689 | 回复: 2 | ||||
| 当前主题已经存档。 | ||||
senpeng铜虫 (小有名气)
|
[交流]
【求助】问下光刻工艺中"侧壁角"的问题
|
|||
|
各位高手,请问侧壁角是什么原因造成的?光刻胶厚度越大,侧壁角有没有什么变化?如果是接触式曝光,光刻胶表面图形比掩模版大和侧壁角问题有没有关系? 谢谢 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 光刻胶 |
» 猜你喜欢
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有13人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有6人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有239人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程硕士（液体纳米分散染料方向）求申博建议
已经有4人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程（液体纳米分散染料）求浙理工纺织 / 材料博导名额
已经有1人回复
-
敢问Acta Pharmaceutica Sinica B with Editor 三周了，能是什么情况？
已经有0人回复
-
求助 CeO2 Fe3O4 Cu2S CoFe2O4 标准卡 Jade 导出的数据
已经有0人回复
-
招生--河北大学26年秋季入学博士
已经有1人回复
-
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
quanbaogang
木虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3449.9
- 帖子: 472
- 在线: 55.3小时
- 虫号: 273719
- 注册: 2006-08-20
- 性别: GG
- 专业: 物理化学
2楼2010-02-05 14:25:41
3楼2010-02-05 14:51:57