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过客3803

金虫 (正式写手)

[交流] 关于光刻的问题(解决后重金答谢)

本人在做实验过程中用到了光刻技术   甩胶 烧烤 显影 后的图案特别清晰 就是长Pt电极后 电极粘附性特别不好  本人怀疑是因为显影时 胶没有去干净 但一时也找不到一个很好的方法 哪位大哥大姐 叔叔阿姨 可以指点一下本人将不胜感激
我的实验流程是( 甩胶 烧烤 暴光 显影 长电极 丙酮去胶 )
QQ271309321

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人生短暂
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phylla

禁言 (正式写手)

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
过客3803(金币+10,VIP+0): 1-9 15:37
本帖内容被屏蔽

2楼2010-01-07 16:41:36
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过客3803

金虫 (正式写手)

感谢phylla

首先感谢您的回答
    我的衬底 用过Si PZT BST 等等 丙酮不会破坏我的样品 但是 仅仅用丙酮清洗 胶不可能完全去掉 不管你用多么软的东西 只要你轻轻一动样品 电极就就有好多伤痕 我也试过退火 500度 30min 有所改善 但是还是不行 要是不用光刻 直接长在BST上 Pt的粘结性很好 怎么弄也不掉 再就是 你说的长Ni 我知道这个可以提高粘附性 暂不考虑他去样品整体性能的影响 是不是在长Ni之前 在Ni和BST之间也会有些胶没有去掉 ?
人生短暂
3楼2010-01-07 16:51:49
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过客3803

金虫 (正式写手)

phylla

还有我想咨询一下您 您做光刻时 用的是哪个牌子的胶呀?
人生短暂
4楼2010-01-07 16:53:48
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phylla

禁言 (正式写手)

本帖内容被屏蔽

5楼2010-01-07 17:42:46
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过客3803

金虫 (正式写手)

两次感谢phylla

我所谓的去胶是 显影时 图案和样品间还有少量的胶 请问您是用的哪个牌子的胶呀?
人生短暂
6楼2010-01-07 17:48:08
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过客3803

金虫 (正式写手)

phylla

不好意思没有看到您刚刚写了胶的牌子 可能是我表述不清 我用的了Bp的胶
我的意思是 如果直接在基片上生长BST BST与基片的粘结很好 用掩模板生长Pt Pt与BST的粘结也很好 不出现脱落现象 我用我刚刚说的过程光刻完电极后 再生长电极 用丙酮去胶(剥离)时 用丙酮浸泡 样品表面还有一些胶没有去掉 想你镜头纸等 轻轻擦 这时 Pt都就脱落了 我不知道问题出在哪儿  还有你们的胶是从哪儿买的呀 我怎么找不到中国的代理呀 我是河北大学的
人生短暂
7楼2010-01-07 18:16:54
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dreampursuer

金虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★ ★
过客3803(金币+5,VIP+0): 1-9 15:37
你镀上的Pt最好可以热处理一下。。。。那样会接触好一点。。
君子博学而日参醒乎己。
8楼2010-01-09 10:16:37
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过客3803

金虫 (正式写手)

dreampursuer

你好
非常感谢你的参与 我是用磁控溅射的Pt
应该热处理也可以 请教一下 热处理是用快速退火好 还是慢速退火好 温度多少为佳
人生短暂
9楼2010-01-09 15:36:53
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kuaileren

至尊木虫 (文坛精英)

Pt最好可以热处理
“你要坚信,人海陌生,质地温暖。只要你能够与人为邻、与人共舞,社会上就有许许多多的热心人等你结识、等你合作”。
10楼2010-01-09 17:00:11
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