24小时热门版块排行榜

返回列表

当前主题已经存档。

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

过客3803

金虫 (正式写手)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 101.4
散金: 12
帖子: 675
在线: 58.6小时
虫号: 780767
注册: 2009-05-27
性别: GG
专业: 光学

[交流] 关于光刻的问题(解决后重金答谢)

本人在做实验过程中用到了光刻技术甩胶烧烤显影后的图案特别清晰就是长Pt电极后电极粘附性特别不好本人怀疑是因为显影时胶没有去干净但一时也找不到一个很好的方法哪位大哥大姐叔叔阿姨可以指点一下本人将不胜感激
我的实验流程是（甩胶烧烤暴光显影长电极丙酮去胶）
QQ271309321

回复此楼

» 猜你喜欢

人生短暂

1楼 2010-01-07 16:29:58

已阅关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

过客3803

金虫 (正式写手)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 101.4
散金: 12
帖子: 675
在线: 58.6小时
虫号: 780767
注册: 2009-05-27
性别: GG
专业: 光学

感谢phylla

首先感谢您的回答
我的衬底用过Si PZT BST 等等丙酮不会破坏我的样品但是仅仅用丙酮清洗胶不可能完全去掉不管你用多么软的东西只要你轻轻一动样品电极就就有好多伤痕我也试过退火 500度 30min 有所改善但是还是不行要是不用光刻直接长在BST上 Pt的粘结性很好怎么弄也不掉再就是你说的长Ni 我知道这个可以提高粘附性暂不考虑他去样品整体性能的影响是不是在长Ni之前在Ni和BST之间也会有些胶没有去掉？