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过客3803

金虫 (正式写手)

[交流] 关于光刻的问题(解决后重金答谢)

本人在做实验过程中用到了光刻技术   甩胶 烧烤 显影 后的图案特别清晰 就是长Pt电极后 电极粘附性特别不好  本人怀疑是因为显影时 胶没有去干净 但一时也找不到一个很好的方法 哪位大哥大姐 叔叔阿姨 可以指点一下本人将不胜感激
我的实验流程是（ 甩胶 烧烤 暴光 显影 长电极 丙酮去胶 ）
QQ271309321
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人生短暂
1楼 2010-01-07 16:29:58
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过客3803

金虫 (正式写手)

phylla

还有我想咨询一下您 您做光刻时 用的是哪个牌子的胶呀？
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人生短暂
4楼2010-01-07 16:53:48
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phylla

禁言 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
过客3803(金币+10,VIP+0): 1-9 15:37
本帖内容被屏蔽
2楼2010-01-07 16:41:36
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过客3803

金虫 (正式写手)

感谢phylla

首先感谢您的回答
    我的衬底 用过Si PZT BST 等等 丙酮不会破坏我的样品 但是 仅仅用丙酮清洗 胶不可能完全去掉 不管你用多么软的东西 只要你轻轻一动样品 电极就就有好多伤痕 我也试过退火 500度 30min 有所改善 但是还是不行 要是不用光刻 直接长在BST上 Pt的粘结性很好 怎么弄也不掉 再就是 你说的长Ni 我知道这个可以提高粘附性 暂不考虑他去样品整体性能的影响 是不是在长Ni之前 在Ni和BST之间也会有些胶没有去掉 ？
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人生短暂
3楼2010-01-07 16:51:49
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phylla

禁言 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
5楼2010-01-07 17:42:46
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