应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 【求助】谁能推荐本详细讲到 射频微波放电、ECR、ICP高密度等离子体的书啊？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
41/1返回列表
查看: 551  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。

r9arrow

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】谁能推荐本详细讲到 射频微波放电、ECR、ICP高密度等离子体的书啊？

近来学习镀膜和半导体工艺的理论知识，很多场合下都接触到射频微波放电、ECR电子回旋加速器、电感耦合(ICP)等离子体这些东西，目前看的书是 田民波 著的《薄膜技术与薄膜材料》，但感觉里面讲的不是很彻底，看不太懂。

各位高人能否推荐本书，能详细讲讲上述内容的？包括物理原理、放电过程以及具体的产生方法、工业应用等。不胜感激！

目前我搜集到的有 1996 徐学基 诸定昌.《气体放电物理》电子版，
当当网上看了看《等离子体技术及应用》和《等离子体放电原理与材料处理》这两本，不知怎么样？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意
1楼 2009-11-04 16:43:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+3,VIP+0):3x 11-4 21:32
射频微波放电、ECR、ICP高密度等离子体的文献较多，可以关注一下。书本就很少见到，或书本讲的不全面。
赞一下(7人) 回复此楼
没有困难创造困难也要上网。
2楼2009-11-04 17:04:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

r9arrow

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by qfw_68 at 2009-11-4 17:04:
射频微波放电、ECR、ICP高密度等离子体的文献较多，可以关注一下。书本就很少见到，或书本讲的不全面。

囧……我现在是在企业里，我们这只能查到CNKI……
赞一下 回复此楼
突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意
3楼2009-11-05 17:30:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

眼泪622

木虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+3,VIP+0):欢迎新虫发言 12-3 20:39
J.R 罗思的《工业等离子体工程》
赞一下(11人) 回复此楼
4楼2009-12-03 18:54:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 r9arrow 的主题更新
41/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料调剂 +7 一样YWY 2026-04-02 7/350 2026-04-02 21:49 by dongzh2009
[考研] 265求调剂 +12 林深温澜 2026-04-01 15/750 2026-04-02 19:14 by 一只好果子?
[考研] 279求调剂 +5 傅文秋 2026-04-02 5/250 2026-04-02 18:10 by 笔落锦州
[考研] 310求调剂 +17 争取九点睡 2026-03-30 17/850 2026-04-02 16:40 by guanxin1001
[考研] 材料求调剂 一志愿哈工大总分298分，前三科223分 +12 dongfang59 2026-03-27 12/600 2026-04-02 12:26 by ms629
[考研] 一志愿北交大材料工程总分358 +3 cs0106 2026-04-02 5/250 2026-04-02 11:37 by olim
[考研] 一志愿北京科技，085601总分305求调剂 +9 半生瓜！ 2026-04-01 11/550 2026-04-02 08:28 by Wang200018
[考研] 求调剂，一志愿南京师范大学计算机专硕，初试373，六级通过， +3 计算机追梦人 2026-04-01 3/150 2026-04-02 07:57 by fxue1114
[考研] 化学工程专硕324分，一志愿中国矿业大学求调剂 +7 耿耿1314 2026-04-01 7/350 2026-04-02 07:40 by 尚水阁主
[考研] 一志愿南昌大学324求调剂 +12 hanamiko 2026-03-27 12/600 2026-04-01 22:34 by 运气yunqi
[考研] 296求调剂 +4 汪！？！ 2026-03-31 7/350 2026-04-01 22:04 by 客尔美德
[考研] 0710生物学考研调剂 +3 李多米lee. 2026-03-27 4/200 2026-04-01 16:21 by zzchen2000
[考研] 086000生物与医药 初试274求调剂 +5 小叮当来了 2026-03-30 6/300 2026-04-01 14:25 by mxj1203
[考研] 0710生物学求调剂！ +6 叙述文 2026-03-31 6/300 2026-04-01 09:39 by JourneyLucky
[考研] 0856求调剂 +9 楒桉 2026-03-28 9/450 2026-03-31 19:06 by 暮泽12
[考研] 315求调剂 +6 akie... 2026-03-28 7/350 2026-03-31 16:48 by asdfzly
[考研] 286求调剂 +5 丢掉懒惰 2026-03-27 8/400 2026-03-31 11:27 by Delta2012
[考研] 22408 359分调剂 +4 Qshers 2026-03-27 8/400 2026-03-31 08:53 by Qshers
[考研] 356求调剂 +3 gysy?s?a 2026-03-28 3/150 2026-03-29 00:33 by 544594351
[考研] 295求调剂 +5 1428151015 2026-03-27 6/300 2026-03-28 04:04 by fmesaito
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭