应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 【求助】谁能推荐本详细讲到 射频微波放电、ECR、ICP高密度等离子体的书啊？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
41/1返回列表
查看: 552  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。

r9arrow

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】谁能推荐本详细讲到 射频微波放电、ECR、ICP高密度等离子体的书啊？

近来学习镀膜和半导体工艺的理论知识，很多场合下都接触到射频微波放电、ECR电子回旋加速器、电感耦合(ICP)等离子体这些东西，目前看的书是 田民波 著的《薄膜技术与薄膜材料》，但感觉里面讲的不是很彻底，看不太懂。

各位高人能否推荐本书，能详细讲讲上述内容的？包括物理原理、放电过程以及具体的产生方法、工业应用等。不胜感激！

目前我搜集到的有 1996 徐学基 诸定昌.《气体放电物理》电子版，
当当网上看了看《等离子体技术及应用》和《等离子体放电原理与材料处理》这两本，不知怎么样？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意
1楼 2009-11-04 16:43:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+3,VIP+0):3x 11-4 21:32
射频微波放电、ECR、ICP高密度等离子体的文献较多，可以关注一下。书本就很少见到，或书本讲的不全面。
赞一下(7人) 回复此楼
没有困难创造困难也要上网。
2楼2009-11-04 17:04:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

r9arrow

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by qfw_68 at 2009-11-4 17:04:
射频微波放电、ECR、ICP高密度等离子体的文献较多，可以关注一下。书本就很少见到，或书本讲的不全面。

囧……我现在是在企业里，我们这只能查到CNKI……
赞一下 回复此楼
突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意
3楼2009-11-05 17:30:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

眼泪622

木虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+3,VIP+0):欢迎新虫发言 12-3 20:39
J.R 罗思的《工业等离子体工程》
赞一下(11人) 回复此楼
4楼2009-12-03 18:54:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 r9arrow 的主题更新
41/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 271分求调剂学校 +3 zph158488！ 2026-04-02 3/150 2026-04-03 00:01 by wwytracy
[考研] 一志愿深大085601材料工程专业（专硕）300分可以调剂去哪 +7 10160315 2026-04-02 7/350 2026-04-02 22:48 by liveagain126
[考研] 专硕 351 086100 也是考的材科基 本科也是材料 +5 202451007219 2026-04-02 5/250 2026-04-02 22:14 by 今天星期八LQ
[考研] 一志愿武汉理工0856，初试334 +3 26考研材料 2026-04-02 3/150 2026-04-02 21:22 by dongzh2009
[考研] 材料340分调剂 +7 夏夜晚风_long 2026-04-02 9/450 2026-04-02 21:20 by dongzh2009
[考研] 279求调剂 +5 傅文秋 2026-04-02 5/250 2026-04-02 18:10 by 笔落锦州
[考研] 283求调剂 +3 jiouuu 2026-04-02 4/200 2026-04-02 14:08 by 哒哒哒呱呱呱
[考研] 377求调剂 +3 RASKIN 2026-04-02 3/150 2026-04-02 09:45 by zzchen2000
[考研] 材料调剂 +11 一样YWY 2026-03-31 11/550 2026-04-01 11:35 by wangjy2002
[考研] 288资源与环境专硕求调剂，不限专业，有学上就行 +25 lllllos 2026-03-30 26/1300 2026-04-01 09:52 by 一只好果子?
[考研] 考研调剂 +9 小蜡新笔 2026-03-29 10/500 2026-03-31 19:52 by Dyhoer
[考研] 材料科学与工程求调剂 +13 深V宿舍吧 2026-03-29 13/650 2026-03-31 19:50 by Dyhoer
[考研] 299求调剂 +8 嗯嗯嗯嗯2 2026-03-27 8/400 2026-03-31 18:23 by lizhi8172
[考研] 求调剂 +9 akdhjs 2026-03-31 10/500 2026-03-31 17:14 by zhyzzh
[考研] 物理学调剂 +4 小羊36 2026-03-30 4/200 2026-03-31 16:16 by lishahe
[考研] 353求调剂 +3 江上枫_26 2026-03-28 3/150 2026-03-31 15:53 by jp9609
[考研] 269求调剂 +4 我想读研11 2026-03-31 4/200 2026-03-31 10:04 by cal0306
[考研] 086000生物与医药调剂 +5 Feisty。 2026-03-28 9/450 2026-03-29 12:02 by longlotian
[考研] 352分 化工与材料 +5 海纳百川Ly 2026-03-27 5/250 2026-03-28 03:39 by fmesaito
[考研] 285求调剂 +4 AZMK 2026-03-27 7/350 2026-03-27 20:59 by AZMK
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭