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r9arrow

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】谁能推荐本详细讲到 射频微波放电、ECR、ICP高密度等离子体的书啊？

近来学习镀膜和半导体工艺的理论知识，很多场合下都接触到射频微波放电、ECR电子回旋加速器、电感耦合(ICP)等离子体这些东西，目前看的书是 田民波 著的《薄膜技术与薄膜材料》，但感觉里面讲的不是很彻底，看不太懂。

各位高人能否推荐本书，能详细讲讲上述内容的？包括物理原理、放电过程以及具体的产生方法、工业应用等。不胜感激！

目前我搜集到的有 1996 徐学基 诸定昌.《气体放电物理》电子版，
当当网上看了看《等离子体技术及应用》和《等离子体放电原理与材料处理》这两本，不知怎么样？
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突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意
1楼 2009-11-04 16:43:26
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r9arrow

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by qfw_68 at 2009-11-4 17:04:
射频微波放电、ECR、ICP高密度等离子体的文献较多，可以关注一下。书本就很少见到，或书本讲的不全面。

囧……我现在是在企业里，我们这只能查到CNKI……
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突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意
3楼2009-11-05 17:30:33
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
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小木虫:)(金币+3,VIP+0):3x 11-4 21:32
射频微波放电、ECR、ICP高密度等离子体的文献较多，可以关注一下。书本就很少见到，或书本讲的不全面。
赞一下(7人) 回复此楼
没有困难创造困难也要上网。
2楼2009-11-04 17:04:10
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眼泪622

木虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+3,VIP+0):欢迎新虫发言 12-3 20:39
J.R 罗思的《工业等离子体工程》
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4楼2009-12-03 18:54:37
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