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【求助】谁能推荐本详细讲到 射频微波放电、ECR、ICP高密度等离子体的书啊？
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近来学习镀膜和半导体工艺的理论知识，很多场合下都接触到射频微波放电、ECR电子回旋加速器、电感耦合(ICP)等离子体这些东西，目前看的书是 田民波 著的《薄膜技术与薄膜材料》，但感觉里面讲的不是很彻底，看不太懂。 各位高人能否推荐本书，能详细讲讲上述内容的？包括物理原理、放电过程以及具体的产生方法、工业应用等。不胜感激！ 目前我搜集到的有 1996 徐学基 诸定昌.《气体放电物理》电子版， 当当网上看了看《等离子体技术及应用》和《等离子体放电原理与材料处理》这两本，不知怎么样？ |
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