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CMP用原料大粒径硅溶胶稳定性探讨
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狂奔蜗牛422
铁虫
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CMP用原料大粒径硅溶胶稳定性探讨
制备的CMP slurry原料硅溶胶,峰型、粒径基本一样的情况下,在应用端差异却挺大,有懂的老师请指教,可以聘请为顾问。
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1楼
2024-08-12 16:31:39
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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9楼
:
Originally posted by
狂奔蜗牛422
at 2024-08-15 08:19:48
老师,请问有没有检测结晶度的方法?...
可以测TEM和XRD,XRD更直接一些
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10楼
2024-08-15 11:02:21
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狂奔蜗牛422(金币+1): 谢谢参与
峰形,粒径只是外观一致
表面形貌,基团分布、结晶度才是影响性能的关键
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6楼
2024-08-13 10:47:30
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6楼
:
Originally posted by
1592203609
at 2024-08-13 10:47:30
峰形,粒径只是外观一致
表面形貌,基团分布、结晶度才是影响性能的关键
老师,请问基团分布是指硅羟基的分布吗?结晶度这个没明白是指什么?
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7楼
2024-08-13 16:13:59
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7楼
:
Originally posted by
狂奔蜗牛422
at 2024-08-13 16:13:59
老师,请问基团分布是指硅羟基的分布吗?结晶度这个没明白是指什么?...
基团分布不止是表面的羟基,因为硅溶胶表面,有硅醇,硅酮,还有硅氧烷
结晶度是指内部的有序重复情况,一般来说,结晶度越高,折射率越高,内部密度越大,硬度越高
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狂奔蜗牛422
8楼
2024-08-13 16:44:53
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xiejf
5楼
2024-08-13 09:29
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狂奔蜗牛422(金币+1): 谢谢参与
。
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tzynew
2楼
2024-08-12 16:33
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狂奔蜗牛422(金币+1): 谢谢参与
i
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