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CMP用原料大粒径硅溶胶稳定性探讨
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狂奔蜗牛422
铁虫
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[交流]
CMP用原料大粒径硅溶胶稳定性探讨
制备的CMP slurry原料硅溶胶,峰型、粒径基本一样的情况下,在应用端差异却挺大,有懂的老师请指教,可以聘请为顾问。
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2024-08-12 16:31:39
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狂奔蜗牛422
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6楼
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Originally posted by
1592203609
at 2024-08-13 10:47:30
峰形,粒径只是外观一致
表面形貌,基团分布、结晶度才是影响性能的关键
老师,请问基团分布是指硅羟基的分布吗?结晶度这个没明白是指什么?
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7楼
2024-08-13 16:13:59
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8楼
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Originally posted by
1592203609
at 2024-08-13 16:44:53
基团分布不止是表面的羟基,因为硅溶胶表面,有硅醇,硅酮,还有硅氧烷
结晶度是指内部的有序重复情况,一般来说,结晶度越高,折射率越高,内部密度越大,硬度越高...
老师,请问有没有检测结晶度的方法?
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9楼
2024-08-15 08:19:48
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