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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » CMP用原料大粒径硅溶胶稳定性探讨
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狂奔蜗牛422

铁虫 (初入文坛)

[交流] CMP用原料大粒径硅溶胶稳定性探讨

制备的CMP  slurry原料硅溶胶，峰型、粒径基本一样的情况下，在应用端差异却挺大，有懂的老师请指教，可以聘请为顾问。
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1楼 2024-08-12 16:31:39
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1592203609

荣誉版主 (知名作家)
★
狂奔蜗牛422(金币+1): 谢谢参与
峰形，粒径只是外观一致
表面形貌，基团分布、结晶度才是影响性能的关键
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6楼2024-08-13 10:47:30
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狂奔蜗牛422

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 1592203609 at 2024-08-13 10:47:30
峰形，粒径只是外观一致
表面形貌，基团分布、结晶度才是影响性能的关键

老师，请问基团分布是指硅羟基的分布吗？结晶度这个没明白是指什么？
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7楼2024-08-13 16:13:59
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1592203609

荣誉版主 (知名作家)
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7楼: Originally posted by 狂奔蜗牛422 at 2024-08-13 16:13:59
老师，请问基团分布是指硅羟基的分布吗？结晶度这个没明白是指什么？...

基团分布不止是表面的羟基，因为硅溶胶表面，有硅醇，硅酮，还有硅氧烷
结晶度是指内部的有序重复情况，一般来说，结晶度越高，折射率越高，内部密度越大，硬度越高
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狂奔蜗牛422
8楼2024-08-13 16:44:53
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狂奔蜗牛422

铁虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
8楼: Originally posted by 1592203609 at 2024-08-13 16:44:53
基团分布不止是表面的羟基，因为硅溶胶表面，有硅醇，硅酮，还有硅氧烷
结晶度是指内部的有序重复情况，一般来说，结晶度越高，折射率越高，内部密度越大，硬度越高...

老师，请问有没有检测结晶度的方法？
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9楼2024-08-15 08:19:48
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1592203609

荣誉版主 (知名作家)
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引用回帖:
9楼: Originally posted by 狂奔蜗牛422 at 2024-08-15 08:19:48
老师，请问有没有检测结晶度的方法？...

可以测TEM和XRD，XRD更直接一些
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10楼2024-08-15 11:02:21
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z2842223

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
峰形，粒径是整体的分布情况
表面形貌，基团分布、结晶度、真密度、制备工艺也都有影响；
试过离子交换法和硅粉水解法的，硅粉水解法因为含有硅粉，相对会偏硬，去除率会偏高，但是也容易造成划伤。而有机硅水解法因为含有乙醇，有时候会导致去除率降低。
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11楼2026-03-30 17:29:30
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tzynew2楼
2024-08-12 16:33   回复  
狂奔蜗牛422(金币+1): 谢谢参与
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miaojiabing3楼
2024-08-12 17:30   回复  
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庚辰辛丑4楼
2024-08-12 21:42   回复  
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xiejf5楼
2024-08-13 09:29   回复  
狂奔蜗牛422(金币+1): 谢谢参与
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