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狂奔蜗牛422

铁虫 (初入文坛)


[交流] CMP用原料大粒径硅溶胶稳定性探讨

制备的CMP  slurry原料硅溶胶,峰型、粒径基本一样的情况下,在应用端差异却挺大,有懂的老师请指教,可以聘请为顾问。
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1592203609

荣誉版主 (知名作家)



狂奔蜗牛422(金币+1): 谢谢参与
峰形,粒径只是外观一致
表面形貌,基团分布、结晶度才是影响性能的关键
6楼2024-08-13 10:47:30
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狂奔蜗牛422

铁虫 (初入文坛)


引用回帖:
6楼: Originally posted by 1592203609 at 2024-08-13 10:47:30
峰形,粒径只是外观一致
表面形貌,基团分布、结晶度才是影响性能的关键

老师,请问基团分布是指硅羟基的分布吗?结晶度这个没明白是指什么?
7楼2024-08-13 16:13:59
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1592203609

荣誉版主 (知名作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by 狂奔蜗牛422 at 2024-08-13 16:13:59
老师,请问基团分布是指硅羟基的分布吗?结晶度这个没明白是指什么?...

基团分布不止是表面的羟基,因为硅溶胶表面,有硅醇,硅酮,还有硅氧烷
结晶度是指内部的有序重复情况,一般来说,结晶度越高,折射率越高,内部密度越大,硬度越高

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

8楼2024-08-13 16:44:53
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狂奔蜗牛422

铁虫 (初入文坛)


送红花一朵
引用回帖:
8楼: Originally posted by 1592203609 at 2024-08-13 16:44:53
基团分布不止是表面的羟基,因为硅溶胶表面,有硅醇,硅酮,还有硅氧烷
结晶度是指内部的有序重复情况,一般来说,结晶度越高,折射率越高,内部密度越大,硬度越高...

老师,请问有没有检测结晶度的方法?
9楼2024-08-15 08:19:48
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1592203609

荣誉版主 (知名作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
9楼: Originally posted by 狂奔蜗牛422 at 2024-08-15 08:19:48
老师,请问有没有检测结晶度的方法?...

可以测TEM和XRD,XRD更直接一些
10楼2024-08-15 11:02:21
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z2842223

木虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
峰形,粒径是整体的分布情况
表面形貌,基团分布、结晶度、真密度、制备工艺也都有影响;
试过离子交换法和硅粉水解法的,硅粉水解法因为含有硅粉,相对会偏硬,去除率会偏高,但是也容易造成划伤。而有机硅水解法因为含有乙醇,有时候会导致去除率降低。
11楼2026-03-30 17:29:30
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tzynew2楼
2024-08-12 16:33   回复  
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2024-08-12 17:30   回复  
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2024-08-12 21:42   回复  
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xiejf5楼
2024-08-13 09:29   回复  
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