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appleliu0506金虫 (小有名气)
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[求助]
如何提高lift-off过程中电极的剥离速度和洁净度？ 已有1人参与
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| 目前电极尺度在6微米，空白沟道1.5微米，这个尺度使用AZ胶光刻后，lift-off经常出现电极沉积不上去的问题。请教如何解决 |
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appleliu0506
金虫 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
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- 散金: 204
- 红花: 6
- 帖子: 261
- 在线: 232小时
- 虫号: 985161
- 注册: 2010-03-29
- 专业: 电化学
3楼2024-03-27 11:16:33