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solgeltech银虫 (小有名气)
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[交流]
【讨论】Pt/Ti/SiO2/Si的热稳定性对铁电薄膜漏电流的影响
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最近在实验中发现在Pt/Ti/SiO2/Si上制备的铁电薄膜相对于其他氧化物电极（比如说镍酸镧电极）的漏电流大很多，并且不太容易测到非常好的结果。 在经历650度60分钟退火处理后（模拟了薄膜制备过程中的热处理），Pt/Ti/SiO2/Si衬底均方根粗糙度由最初的2.110nm增长到7.912nm。这种表面形貌的改变会不会是导致铁电薄膜经历高温热处理后漏电流增大的主要原因呢？  http://www.yuanteksolgel.com/show.asp?id=177 [ Last edited by solgeltech on 2009-10-12 at 09:32 ] |
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fangbj
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