应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 【讨论】Pt/Ti/SiO2/Si的热稳定性对铁电薄膜漏电流的影响
71/1返回列表
查看: 817  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。

solgeltech

银虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】Pt/Ti/SiO2/Si的热稳定性对铁电薄膜漏电流的影响

最近在实验中发现在Pt/Ti/SiO2/Si上制备的铁电薄膜相对于其他氧化物电极（比如说镍酸镧电极）的漏电流大很多，并且不太容易测到非常好的结果。

在经历650度60分钟退火处理后（模拟了薄膜制备过程中的热处理），Pt/Ti/SiO2/Si衬底均方根粗糙度由最初的2.110nm增长到7.912nm。这种表面形貌的改变会不会是导致铁电薄膜经历高温热处理后漏电流增大的主要原因呢？





http://www.yuanteksolgel.com/show.asp?id=177

[ Last edited by solgeltech on 2009-10-12 at 09:32 ]
回复此楼

» 猜你喜欢
镍酸镧氧化物 铁电薄膜溶液 铁酸铋 http://yuantek.admindiy.cn ｗｗｗ.ｙｕａｎｔｅｋｓｏｌｇｅｌ.ｃｏｍ
1楼 2009-10-12 09:19:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kmwang

新虫 (小有名气)
这个有意思，同求
回复此楼
2楼2009-10-12 18:23:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fangbj

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
应该不会。铁电薄膜漏电流大还是要从材料本身找原因。衬底有影响，但不回是关键性的。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2009-10-12 18:49:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kmwang

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
问题是会不会是电极的这种变化导致上面生长的铁电薄膜质量出现问题
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2009-10-12 18:59:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mse507

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by kmwang at 2009-10-12 18:59:
问题是会不会是电极的这种变化导致上面生长的铁电薄膜质量出现问题

Pt的快速生长有可能会导致铁电薄膜出现微裂纹，从而导致薄膜漏电严重。
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2009-10-12 20:12:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kmwang

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
有没有人探究过这个问题？大家分享一下
赞一下(1人) 回复此楼
6楼2009-10-13 08:20:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mse507

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by kmwang at 2009-10-13 08:20:
有没有人探究过这个问题？大家分享一下

Pt在热处理时的生长应该属于二次生长(Secondary grain growth),是通过大晶粒吃掉小晶粒来实现的，因此必然会导致Pt晶粒尺寸不均匀。这会导致上面的铁电薄膜的晶粒尺寸均匀性变差，表面粗糙度升高、乃至漏电流升高。
赞一下(1人) 回复此楼
7楼2009-10-15 18:38:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 solgeltech 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 帮忙看看fileCode +4 wwncly 2026-08-10 7/350 2026-08-10 21:24 by Tide man
[基金申请] filecode +8 documentary 2026-08-10 8/400 2026-08-10 19:20 by loufangrui
[基金申请] 确定了，国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 关于代码变化问题，想知道的进来 +17 且听虎啸 2026-08-07 24/1200 2026-08-10 18:35 by zhangduo2008
[基金申请] 静等基金结果 +5 gjjjzhong 2026-08-10 16/800 2026-08-10 17:19 by Tide man
[基金申请] 我的国基提前知道中了，可是同事的操作让我实在接受不了，怎么会有这样的人 +8 家与远方 2026-08-10 11/550 2026-08-10 17:09 by 六两废铜
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +14 Lanmanbaby 2026-08-09 22/1100 2026-08-10 14:57 by wwncly
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +9 布布和一二 2026-08-08 9/450 2026-08-10 11:22 by xxxx2020
[基金申请] 这样的filecode谁见过 +11 布布和一二 2026-08-08 22/1100 2026-08-10 11:10 by wmfsnow
[基金申请] filecode与中标关系的预测 +5 布布和一二 2026-08-07 5/250 2026-08-09 16:15 by 袁向阳007
[基金申请] fileCode有新解读？ +10 Tide man 2026-08-08 18/900 2026-08-09 12:55 by 仁砚薪传
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变，有变的大神么？ +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] 大家散了吧，后缀研究没有意义，别浪费时间了，过好目前的每一天，不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
[基金申请] filecode +8 布布和一二 2026-08-06 11/550 2026-08-06 20:41 by tangpu318
[基金申请] 求各位大神看下 100+6 hpkpkpkp 2026-08-05 33/1650 2026-08-06 14:49 by zhiyanjiang
[基金申请] 影响面上的因素 +8 布布和一二 2026-08-05 11/550 2026-08-06 10:41 by 宝贝虫子
[基金申请] 好消息？这个有何含义？？？ +8 Tide man 2026-08-05 10/500 2026-08-05 16:14 by xmuxiaoyu
[基金申请] 有没有H口的？有收到消息的吗？ +3 超级海虾 2026-08-04 3/150 2026-08-04 17:26 by 学教育滴
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭