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求助:在玻璃基板上旋凃pi溶液,膜厚问题 已有1人参与
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在玻璃基板上旋凃pi溶液,退火后进行剥离,发现他的膜太薄了,大概50nm左右,想要100nm左右的,大佬们该怎么做?我旋凃转速为700r @hwweven 发自小木虫Android客户端 |
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2楼2023-10-06 12:37:50
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4楼2023-10-06 15:29:33
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调整旋转速度:在固定其他参数的情况下,提高旋转速度会降低膜的厚度,反之则会增加膜的厚度。如果你目前的膜厚度为50nm,转速为700转/分,你希望得到大约100nm的厚度,将旋转速度降低一些可能会有帮助。具体多少可以进行一些尝试。 调整溶液浓度:提高溶液的浓度也可以增加膜的厚度。在保持旋转速度不变的情况下,将溶液的浓度增大,可以得到更厚的膜。 多次旋涂:还可以通过多次旋涂的方式来增加膜的厚度,每次旋涂后进行适当的热处理,然后再进行下一层的旋涂。 调整旋涂时间:在保持其他参数不变的情况下,延长旋涂时间可以增加膜的厚度。 发自小木虫IOS客户端 |
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