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求助：在玻璃基板上旋凃pi溶液，膜厚问题 已有1人参与
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在玻璃基板上旋凃pi溶液，退火后进行剥离，发现他的膜太薄了，大概50nm左右，想要100nm左右的，大佬们该怎么做？我旋凃转速为700r @hwweven 发自小木虫Android客户端 |
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2楼2023-10-06 12:37:50
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3楼2023-10-06 12:40:28
4楼2023-10-06 15:29:33
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调整旋转速度：在固定其他参数的情况下，提高旋转速度会降低膜的厚度，反之则会增加膜的厚度。如果你目前的膜厚度为50nm，转速为700转/分，你希望得到大约100nm的厚度，将旋转速度降低一些可能会有帮助。具体多少可以进行一些尝试。 调整溶液浓度：提高溶液的浓度也可以增加膜的厚度。在保持旋转速度不变的情况下，将溶液的浓度增大，可以得到更厚的膜。 多次旋涂：还可以通过多次旋涂的方式来增加膜的厚度，每次旋涂后进行适当的热处理，然后再进行下一层的旋涂。 调整旋涂时间：在保持其他参数不变的情况下，延长旋涂时间可以增加膜的厚度。 发自小木虫IOS客户端 |
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