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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 求助：在玻璃基板上旋凃pi溶液，膜厚问题
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行而不辍1

新虫 (小有名气)

[求助] 求助：在玻璃基板上旋凃pi溶液，膜厚问题 已有1人参与

在玻璃基板上旋凃pi溶液，退火后进行剥离，发现他的膜太薄了，大概50nm左右，想要100nm左右的，大佬们该怎么做？我旋凃转速为700r

@hwweven 发自小木虫Android客户端
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1楼 2023-10-06 12:33:46
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水，利万物而不争

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
旋涂膜的厚度与旋转速度的平方根的倒数成正比。四倍速度旋转的薄膜厚度将减半

厚度将取决于材料浓度和溶剂蒸发速率（这又取决于溶剂粘度、蒸汽压、温度和局部湿度）
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3楼2023-10-06 12:40:28
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水，利万物而不争
1溶液浓度高一些。
2旋凃转速慢一些。
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2楼2023-10-06 12:37:50
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行而不辍1

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 13813921817 at 2023-10-06 12:37:50
1溶液浓度高一些。
2旋凃转速慢一些。

你好，我用的700r旋凃，旋凃的不是很均匀。意思是再慢一些？

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4楼2023-10-06 15:29:33
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皮皮猪c

新虫 (初入文坛)
调整旋转速度：在固定其他参数的情况下，提高旋转速度会降低膜的厚度，反之则会增加膜的厚度。如果你目前的膜厚度为50nm，转速为700转/分，你希望得到大约100nm的厚度，将旋转速度降低一些可能会有帮助。具体多少可以进行一些尝试。
调整溶液浓度：提高溶液的浓度也可以增加膜的厚度。在保持旋转速度不变的情况下，将溶液的浓度增大，可以得到更厚的膜。
多次旋涂：还可以通过多次旋涂的方式来增加膜的厚度，每次旋涂后进行适当的热处理，然后再进行下一层的旋涂。
调整旋涂时间：在保持其他参数不变的情况下，延长旋涂时间可以增加膜的厚度。

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行而不辍1
5楼2023-10-07 15:48:32
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