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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 跨学科应用 » 求助大佬。磁控溅射铜?氧化锌?铜的结构。
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新虫 (小有名气)

[交流] 求助大佬。磁控溅射铜?氧化锌?铜的结构。

在硅片上磁控溅射铜?氧化锌?铜的结构。出现各层之间元素掺杂现象。还有出现过各层之间不分层的现象，和最底层铜被击掉或脱落，相同工艺参数厚度明显小于第三层。求助大佬。这些分别是什么原因。求助?

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1楼 2023-07-22 13:13:34
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shi68
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7楼2023-07-22 14:15:32
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tzynew
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2楼2023-07-22 13:14:52
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周潜修
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3楼2023-07-22 13:15:35
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XG-WUST
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4楼2023-07-22 13:26:23
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