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求助大佬。磁控溅射铜?氧化锌?铜的结构。
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在硅片上磁控溅射铜?氧化锌?铜的结构。出现各层之间元素掺杂现象。还有出现过各层之间不分层的现象，和最底层铜被击掉或脱落，相同工艺参数厚度明显小于第三层。求助大佬。这些分别是什么原因。求助? 发自小木虫Android客户端 |
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