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新虫 (小有名气)

[交流] 求助大佬。磁控溅射铜?氧化锌?铜的结构。

在硅片上磁控溅射铜?氧化锌?铜的结构。出现各层之间元素掺杂现象。还有出现过各层之间不分层的现象,和最底层铜被击掉或脱落,相同工艺参数厚度明显小于第三层。求助大佬。这些分别是什么原因。求助?

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3楼2023-07-22 13:15:35
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