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[交流] 求助大佬。磁控溅射铜?氧化锌?铜的结构。

在硅片上磁控溅射铜?氧化锌?铜的结构。出现各层之间元素掺杂现象。还有出现过各层之间不分层的现象，和最底层铜被击掉或脱落，相同工艺参数厚度明显小于第三层。求助大佬。这些分别是什么原因。求助?

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1楼 2023-07-22 13:13:34
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tzynew
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周潜修
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XG-WUST
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zhang1220yu
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哈姆太郎
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shi68
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zpc1987
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1360722740
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猴山上的来客
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