应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » PECVD生长二氧化硅气压不稳定
51/1返回列表
查看: 1359  |  回复: 13
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 秒速大大 的 39 个金币 ，回帖就立即获得 1 个金币，每人有 1 次机会
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

秒速大大

铜虫 (小有名气)

[交流] PECVD生长二氧化硅气压不稳定

求助各位虫友，在用PECVD生长二氧化硅薄膜发现腔体气压不稳定，一直在升高。腔体反应气体为SiH4和N2O，流量为10：100 SCCM，腔体气压在反应前稳定在100 Pa，但是打开电源开始反应后，气压就一直在上升，这个一般是什么问题导致的？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2023-03-22 14:04:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

加纳居士

新虫 (初入文坛)
★
秒速大大(金币+1): 谢谢参与
这种情况我遇见过类似的，射频电源的工作状态可能不稳定，影响等离子体的产生和维持，进而影响反应过程，可能导致气体消耗速率降低，从而增加腔体气压

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
13楼2024-06-14 11:08:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 14 个回答

chenhuanlong

禁虫 (文学泰斗)
★
秒速大大(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽
5楼2023-03-22 16:03:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

379343274

木虫 (正式写手)
★
秒速大大(金币+1): 谢谢参与
看看蝶阀控压有没有问题，另外排查一下MFC 是否正常，还有泵的问题

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
8楼2023-03-27 23:34:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

那片香茗

新虫 (小有名气)
★
秒速大大(金币+1): 谢谢参与
把比例设成30：100试试。
赞一下 回复此楼
10楼2024-04-29 17:37:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
tzynew2楼
2023-03-22 14:19   回复  
秒速大大(金币+1): 谢谢参与
o 发自小木虫Android客户端
toppaper4楼
2023-03-22 15:08   回复  
秒速大大(金币+1): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
lvzhiqing7楼
2023-03-26 18:04   回复  
秒速大大(金币+1): 谢谢参与
赞 发自小木虫IOS客户端
XG-WUST9楼
2023-03-28 20:56   回复  
秒速大大(金币+1): 谢谢参与
up 发自小木虫IOS客户端
lds2029711楼
2024-05-05 07:26   回复  
秒速大大(金币+1): 谢谢参与
！！ 发自小木虫IOS客户端
lds2029712楼
2024-06-01 07:39   回复  
lds2029714楼
2024-09-29 07:59   回复  
查看全部 14 个回答
提示: 如果您在30分钟内回复过其他散金贴，则可能无法领取此贴金币
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 考研调剂 +4 芬达46 2026-03-12 4/200 2026-03-13 16:04 by ruiyingmiao
[考研] 求调剂 +3 程雨杭 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:06 by JourneyLucky
[考研] 085600材料与化工 求调剂 +4 enenenhui 2026-03-13 5/250 2026-03-13 14:03 by enenenhui
[考研] 【0703化学调剂】-一志愿华中师范大学-六级475 +4 Becho359 2026-03-11 4/200 2026-03-13 12:18 by 历史课代表百度
[考研] 282分材料专业求调剂院校 +18 枫桥ZL 2026-03-09 25/1250 2026-03-13 10:47 by 白夜悠长
[考研] b区环境工程求调剂 +3 Maps1 2026-03-10 5/250 2026-03-13 10:28 by Yuyi.
[考研] 08食品或轻工求调剂，本科发表3篇sci一区top论文，一志愿南师大食品科学与工程 +3 我是一个兵， 2026-03-10 3/150 2026-03-13 10:21 by Yuyi.
[考研] 化工学硕306求调剂 +9 42838695 2026-03-12 9/450 2026-03-13 10:16 by houyaoxu
[考研] 290 材料与化工求调剂 +8 Nebulala 2026-03-08 8/400 2026-03-12 15:19 by wyb0328
[考研] 2026考研求调剂-材料类-本科211一志愿985-初试301分 +10 虫友233 2026-03-07 11/550 2026-03-12 14:52 by ruiyingmiao
[考研] 0832食品科学与工程293调剂 +4 东东不東 2026-03-07 4/200 2026-03-12 14:21 by ZhengYI21
[考研] 085600 材料与化工 295 求调剂 +10 dream…… 2026-03-10 12/600 2026-03-12 13:46 by dream……
[考研] 材料工程,326分，求调剂 +5 KRSLSR 2026-03-10 5/250 2026-03-11 21:07 by kiokin
[考研] 一志愿天大化工（085600）调剂总分338 +5 蔡大美女 2026-03-09 5/250 2026-03-10 14:44 by ruiyingmiao
[考博] 求材料读博院校 +9 yanglei131 2026-03-08 9/450 2026-03-10 11:54 by 天道酬勤2026686
[考研] 一志愿山东大学，总分327，英语二79，有论文，有竞赛，已过四六级 +3 木木目目1 2026-03-09 3/150 2026-03-09 19:52 by yuningshan
[考研] 材料调剂 +4 xxxcm 2026-03-08 7/350 2026-03-09 10:11 by EBSD
[考研] 337求调剂 +3 睡醒，。 2026-03-09 3/150 2026-03-09 10:02 by 求调剂zz
[考研] 301求调剂 +5 一二LV 2026-03-07 5/250 2026-03-07 22:20 by 18137688336
[考研] 求调剂推荐 +4 微辣不吃 2026-03-06 4/200 2026-03-07 00:28 by leaiy
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭