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Kilor

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[交流] 【讨论】有没有做sem，用电解抛光的铜做衬底的？

由于制备的纳米材料导电性不好，
喷金的话，sem不大好看。
所以老板考虑电解抛光铜片，依靠铜片的良好导电性来做sem。
不过这电解抛光铜片应该很麻烦吧?主要是还要搭设备，条件也还要琢磨。

不知道有没有人用过抛光铜片做sem衬底的，
讲讲效果如何。
谢谢

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1楼 2009-09-20 15:20:50

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Kilor

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引用回帖:

Originally posted by qfw_68 at 2009-9-22 06:32:
当然可以了！衬底又不是不能换。Cu的导电性好，只要其抛光问题解决就可以了。
但是Cu在半导体等材料中是间隙杂质，扩散系数很大，一般须在其上沉积TiN等薄层做缓冲层以阻挡Cu的扩散。不知道你们在Cu上沉积什么材 ...

我是想把分散有纳米颗粒的乙醇溶液直接滴在硅片上，所以应该不用考虑你讲的这个。