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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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Kilor

金虫 (著名写手)

[交流] 【讨论】有没有做sem,用电解抛光的铜做衬底的?

由于制备的纳米材料导电性不好,
喷金的话,sem不大好看。
所以老板考虑电解抛光铜片,依靠铜片的良好导电性来做sem。
不过这电解抛光铜片应该很麻烦吧?主要是还要搭设备,条件也还要琢磨。

不知道有没有人用过抛光铜片做sem衬底的,
讲讲效果如何。
谢谢
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maojiecheng

银虫 (小有名气)



Kilor(金币+1,VIP+0):我也用过硅片,导电性不大好。谢谢 9-22 09:54
我建议用掺杂低电阻单面抛光的硅片作为衬底,但是不知道导电性可能满足要求,我有个客户就用硅片作为衬底做SEM
4楼2009-09-21 22:26:12
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liuruiphd

木虫 (著名写手)


Kilor(金币+1,VIP+0):这个是机械抛光。电解抛光钱要进行机械抛光? 9-21 20:53
我抛光过铜片,那个相当难弄,号称要做到跟镜面一样平整,就是用砂纸从小到大的磨,当然有抛光机最好,直接用抛光液打上去磨就可以。
2楼2009-09-20 16:29:09
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Kilor

金虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by liuruiphd at 2009-9-20 16:29:
我抛光过铜片,那个相当难弄,号称要做到跟镜面一样平整,就是用砂纸从小到大的磨,当然有抛光机最好,直接用抛光液打上去磨就可以。

这个是机械抛光。电解抛光钱要进行机械抛光?
3楼2009-09-21 20:53:40
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙


Kilor(金币+1,VIP+0):我是想把分散有纳米颗粒的乙醇溶液直接滴在硅片上,所以应该不用考虑你讲的这个。谢谢 9-22 09:57
当然可以了!衬底又不是不能换。Cu的导电性好,只要其抛光问题解决就可以了。
但是Cu在半导体等材料中是间隙杂质,扩散系数很大,一般须在其上沉积TiN等薄层做缓冲层以阻挡Cu的扩散。不知道你们在Cu上沉积什么材料,需不需要考虑这一点。
没有困难创造困难也要上网。
6楼2009-09-22 06:32:36
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