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Kilor

金虫 (著名写手)

[交流] 【讨论】有没有做sem,用电解抛光的铜做衬底的?

由于制备的纳米材料导电性不好,
喷金的话,sem不大好看。
所以老板考虑电解抛光铜片,依靠铜片的良好导电性来做sem。
不过这电解抛光铜片应该很麻烦吧?主要是还要搭设备,条件也还要琢磨。

不知道有没有人用过抛光铜片做sem衬底的,
讲讲效果如何。
谢谢
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Kilor

金虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by liuruiphd at 2009-9-20 16:29:
我抛光过铜片,那个相当难弄,号称要做到跟镜面一样平整,就是用砂纸从小到大的磨,当然有抛光机最好,直接用抛光液打上去磨就可以。

这个是机械抛光。电解抛光钱要进行机械抛光?
3楼2009-09-21 20:53:40
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Kilor

金虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by werwr at 2009-9-22 05:09:
导电玻璃

是ITO导电玻璃吗?衬底怎么样?跟硅片差不多平整吗?
8楼2009-09-22 09:55:45
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Kilor

金虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by qfw_68 at 2009-9-22 06:32:
当然可以了!衬底又不是不能换。Cu的导电性好,只要其抛光问题解决就可以了。
但是Cu在半导体等材料中是间隙杂质,扩散系数很大,一般须在其上沉积TiN等薄层做缓冲层以阻挡Cu的扩散。不知道你们在Cu上沉积什么材 ...

我是想把分散有纳米颗粒的乙醇溶液直接滴在硅片上,所以应该不用考虑你讲的这个。
9楼2009-09-22 09:57:21
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Kilor

金虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by 一木挡风 at 2009-9-22 08:14:
我不知道你的纳米材料底料是什么,铜对它的附着性如何我也就无法知道了。但从你的描述来看,你只需要让底料具有良好的导电性,而且方法从表面处理着手,那么把你的材料(要求很薄)附着在阴极上,阳极用铜棒即可。 ...

抛光的时候,应该是要抛光的铜片直接作为阳极,然后阴极另外选一个材料吧?对于电解抛光铜片的话,铜片应该选为纯铜片吧?还是什么材料?
抛光液一般选什么的?一般直接买过来,还是直接自己配起来的?

谢谢
11楼2009-09-22 10:05:22
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