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Kilor

金虫 (著名写手)

[交流] 【讨论】有没有做sem,用电解抛光的铜做衬底的?

由于制备的纳米材料导电性不好,
喷金的话,sem不大好看。
所以老板考虑电解抛光铜片,依靠铜片的良好导电性来做sem。
不过这电解抛光铜片应该很麻烦吧?主要是还要搭设备,条件也还要琢磨。

不知道有没有人用过抛光铜片做sem衬底的,
讲讲效果如何。
谢谢
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liuruiphd

木虫 (著名写手)


Kilor(金币+1,VIP+0):这个是机械抛光。电解抛光钱要进行机械抛光? 9-21 20:53
我抛光过铜片,那个相当难弄,号称要做到跟镜面一样平整,就是用砂纸从小到大的磨,当然有抛光机最好,直接用抛光液打上去磨就可以。
2楼2009-09-20 16:29:09
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Kilor

金虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by liuruiphd at 2009-9-20 16:29:
我抛光过铜片,那个相当难弄,号称要做到跟镜面一样平整,就是用砂纸从小到大的磨,当然有抛光机最好,直接用抛光液打上去磨就可以。

这个是机械抛光。电解抛光钱要进行机械抛光?
3楼2009-09-21 20:53:40
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maojiecheng

银虫 (小有名气)



Kilor(金币+1,VIP+0):我也用过硅片,导电性不大好。谢谢 9-22 09:54
我建议用掺杂低电阻单面抛光的硅片作为衬底,但是不知道导电性可能满足要求,我有个客户就用硅片作为衬底做SEM
4楼2009-09-21 22:26:12
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werwr

铜虫 (正式写手)


Kilor(金币+1,VIP+0):是ITO导电玻璃吗?衬底怎么样?跟硅片差不多平整吗? 9-22 09:54
导电玻璃
新的开始,好好努力
5楼2009-09-22 05:09:05
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙


Kilor(金币+1,VIP+0):我是想把分散有纳米颗粒的乙醇溶液直接滴在硅片上,所以应该不用考虑你讲的这个。谢谢 9-22 09:57
当然可以了!衬底又不是不能换。Cu的导电性好,只要其抛光问题解决就可以了。
但是Cu在半导体等材料中是间隙杂质,扩散系数很大,一般须在其上沉积TiN等薄层做缓冲层以阻挡Cu的扩散。不知道你们在Cu上沉积什么材料,需不需要考虑这一点。
没有困难创造困难也要上网。
6楼2009-09-22 06:32:36
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一木挡风

银虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★ ★
Kilor(金币+5,VIP+0):抛光的时候,应该是要抛光的铜片直接作为阳极,然后阴极另外选一个材料吧? 9-22 10:03
我不知道你的纳米材料底料是什么,铜对它的附着性如何我也就无法知道了。但从你的描述来看,你只需要让底料具有良好的导电性,而且方法从表面处理着手,那么把你的材料(要求很薄)附着在阴极上,阳极用铜棒即可。材料和设备如下:
(1)电源:
  电源可选用双相220V,三相380V。
  (2)整流器
  电解抛光对电源波形要求不是太严格,可选用可控硅整流器或高频整流器。
  整流器空载电压:0—20v
  负载电压(工作电压):8—10v
  工作电压低于6v,抛光速度慢,光亮度不足。
  整流器电流:根据客户工件大小而定。
  (3)电解槽及配套设施(阳极棒)
  可选用聚氯乙烯硬板材焊接而成。在槽上装三根电极棒,中间为可移动的阳极棒,接电源阳极(或正极),两侧为阴极棒,连接电源阴极(负极)。
  (4)加热设施及冷却设备
  ①加热可选用石英加热管,钛加热管。
  ②冷却可选用盘管,盘管可加热可冷却。
  (5)夹具
  最好选用钛做挂具,因为钛较耐腐蚀,寿命长,钛离子对槽液无影响。建议最好不要用铜挂具,因为铜离子进入会在不锈钢表面沉积一层结合力不好的铜层,影响抛光质量。铜裸露部位可用聚氯乙烯胶烘烤成膜,在接触点刮去绝缘膜。
  (6)阴阳极材料
  阴极材料选用铅板,阳极材料选用紫铜连接。
  阳极比阴极为1:2—3.5之间。
  阴极距阳极最佳距离为10—30厘米。

PS:抛光前,底料要求无杂质,平整(无需镜面)
BDO,NMP,吡啶-15002111330,上海顺雅
7楼2009-09-22 08:14:36
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Kilor

金虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by werwr at 2009-9-22 05:09:
导电玻璃

是ITO导电玻璃吗?衬底怎么样?跟硅片差不多平整吗?
8楼2009-09-22 09:55:45
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Kilor

金虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by qfw_68 at 2009-9-22 06:32:
当然可以了!衬底又不是不能换。Cu的导电性好,只要其抛光问题解决就可以了。
但是Cu在半导体等材料中是间隙杂质,扩散系数很大,一般须在其上沉积TiN等薄层做缓冲层以阻挡Cu的扩散。不知道你们在Cu上沉积什么材 ...

我是想把分散有纳米颗粒的乙醇溶液直接滴在硅片上,所以应该不用考虑你讲的这个。
9楼2009-09-22 09:57:21
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙


Kilor(金币+1,VIP+0):thx 9-22 10:00
引用回帖:
Originally posted by Kilor at 2009-9-22 09:57:

我是想把分散有纳米颗粒的乙醇溶液直接滴在硅片上,所以应该不用考虑你讲的这个。

对头!   
没有困难创造困难也要上网。
10楼2009-09-22 09:58:24
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