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Kilor

金虫 (著名写手)

[交流] 【讨论】有没有做sem,用电解抛光的铜做衬底的?

由于制备的纳米材料导电性不好,
喷金的话,sem不大好看。
所以老板考虑电解抛光铜片,依靠铜片的良好导电性来做sem。
不过这电解抛光铜片应该很麻烦吧?主要是还要搭设备,条件也还要琢磨。

不知道有没有人用过抛光铜片做sem衬底的,
讲讲效果如何。
谢谢
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一木挡风

银虫 (小有名气)

★ ★
Kilor(金币+2,VIP+0):thx 9-22 16:40
引用回帖:
Originally posted by Kilor at 2009-9-22 10:05:

抛光的时候,应该是要抛光的铜片直接作为阳极,然后阴极另外选一个材料吧?对于电解抛光铜片的话,铜片应该选为纯铜片吧?还是什么材料?
抛光液一般选什么的?一般直接买过来,还是直接自己配起来的?

谢谢

最好呢自己查查相关资料,这里只能提供点滴

阴极用精铜,阳极用的是粗铜即可,片板棒均可。
抛光液的选择,以阳离子符合电镀材料为准,你这里是铜,那么阳离子是铜离子,阴离子有不同类型,根据你实际情况调整选择。可以自己配置。不要想的太复杂,很简单的配置一个实验下,如硫酸铜之类,为了电镀效果,有的采用复合电镀液,你自己参考不同系列,根据你的实际情况。
BDO,NMP,吡啶-15002111330,上海顺雅
12楼2009-09-22 14:03:21
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liuruiphd

木虫 (著名写手)


Kilor(金币+1,VIP+0):这个是机械抛光。电解抛光钱要进行机械抛光? 9-21 20:53
我抛光过铜片,那个相当难弄,号称要做到跟镜面一样平整,就是用砂纸从小到大的磨,当然有抛光机最好,直接用抛光液打上去磨就可以。
2楼2009-09-20 16:29:09
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Kilor

金虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by liuruiphd at 2009-9-20 16:29:
我抛光过铜片,那个相当难弄,号称要做到跟镜面一样平整,就是用砂纸从小到大的磨,当然有抛光机最好,直接用抛光液打上去磨就可以。

这个是机械抛光。电解抛光钱要进行机械抛光?
3楼2009-09-21 20:53:40
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maojiecheng

银虫 (小有名气)



Kilor(金币+1,VIP+0):我也用过硅片,导电性不大好。谢谢 9-22 09:54
我建议用掺杂低电阻单面抛光的硅片作为衬底,但是不知道导电性可能满足要求,我有个客户就用硅片作为衬底做SEM
4楼2009-09-21 22:26:12
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