应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜     石溪大学接受考研调剂申请>

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 科研生活 » 磁控溅射过程中靶材开裂且发黑
【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
91/1返回列表
查看: 876  |  回复: 8
只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者yupeng199将赠送您 100 个金币

yupeng199

新虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射过程中靶材开裂且发黑已有5人参与

在制备过程中，预溅时的辉光颜色正常，但是正溅时辉光有些许变浅，同时分子泵在抽真空的过程中时间过长，之后取出靶材时，靶材表面裂缝处发黑，同时靶材与背靶铜之间的铟没了，一小块靶材脱落，这块靶材本身溅射次数太多，已发生开裂，请问这是为啥会黑呢，那这块靶材还能使用吗
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼2022-09-20 16:48:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ipwt5029

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

开裂的不能继续使用了哦，影响均匀性
赞一下(1人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

yupeng199
2楼2022-09-25 13:00:05
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

宁静致远233

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

可能是靶材中毒现象 大概和气氛有关系 检查是否漏气
赞一下(1人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

yupeng199
3楼2022-09-26 17:30:19
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yupeng199

新虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by ipwt5029 at 2022-09-25 13:00:05
开裂的不能继续使用了哦，影响均匀性

谢谢您，可能是我的功率太高了

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2022-09-26 19:16:54
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yupeng199

新虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by 宁静致远233 at 2022-09-26 17:30:19
可能是靶材中毒现象 大概和气氛有关系 检查是否漏气

我查验了，没有地方漏气，别的靶没有问题，唯独这一块

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
5楼2022-09-26 19:18:00
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

r408062798

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

靶材表面发黑有可能是熔化的焊料被打散覆盖在表面了。另外，靶材开裂跟升功率的速率也有一定的关系，把升功率的速率降低，会有所改善。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
6楼2022-09-27 00:52:10
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小米0锅巴

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

背板冷却不足，功率上升导致靶材表面温度升高。还有焊接层铟在绑定的时候，铟层的厚度是否确认过。要排除铟层过薄的可能。
赞一下(1人) 回复此楼
7楼2022-10-11 15:44:13
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bluegenes

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

应该是温度过高，可能原因是溅射功率过高或者设备水冷出了问题。
赞一下(1人) 回复此楼
www.qiushan-tech.com
8楼2022-10-12 13:17:02
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

科研材料X

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
9楼2022-10-12 19:11:30
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 yupeng199 的主题更新
91/1返回列表
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫 论文翻译-EnPapers美助理教授团队-SCI英文润色
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[有机交流] 环肽的合成 +3 徐来不惊 2024-04-25 6/300 2024-04-27 13:54 by xxzhangci
[留学DIY] 10043以后咋出去啊 +3 RuiLove 2024-04-22 3/150 2024-04-27 12:16 by icm639
[基金申请] 两类问题算是白选了~ +8 jurkat.1640 2024-04-23 13/650 2024-04-27 12:03 by 淀粉搬运工
[教师之家] 博士论文被抄袭 +26 和尚敲小木鱼 2024-04-22 43/2150 2024-04-27 11:14 by liuyuzhou
[教师之家] 大学直属学院卸任的副院长退休后还享受副处级的养老待遇吗？ +4 苏东坡二世 2024-04-27 4/200 2024-04-27 10:12 by ZHONGWU_U
[论文投稿] 投稿RSC旗下杂志突然间看不到投稿状态，里面投稿的文章信息不见了，有遇到过的吗？ 50+3 dlying 2024-04-26 3/150 2024-04-27 09:58 by bobvan
[硕博家园] 博士白读了 +47 Da_Meng_Zi 2024-04-21 52/2600 2024-04-27 08:25 by shl2112501
[找工作] 普通院校药学硕士，做合成的，感觉找不到工作 +10 pom戴墨镜 2024-04-24 17/850 2024-04-26 23:23 by ZZZemmm
[基金申请] 基金开始函评了吗？ +16 wych1103 2024-04-25 16/800 2024-04-26 21:32 by 淀粉搬运工
[考研] 没学上 +6 季向阳 2024-04-26 12/600 2024-04-26 21:06 by 季向阳
[硕博家园] 考研，求职还是考编? +15 xizj 2024-04-21 24/1200 2024-04-26 11:49 by Kan客
[考研] 381求调剂 +4 小刺猬987654321 2024-04-25 6/300 2024-04-26 10:57 by czl12138
[考博] 求博导 +6 好okjh 2024-04-21 10/500 2024-04-25 14:04 by 好okjh
[论文投稿] 一直找不到审稿人 +5 lizhengke06 2024-04-21 6/300 2024-04-25 14:01 by chongdong
[基金申请] 化学结清有情发出来了 +3 starboy7286 2024-04-20 3/150 2024-04-24 15:52 by 嘿，黑贝
[论文投稿] 期刊推荐 20+4 木颜尘ip 2024-04-22 7/350 2024-04-24 10:06 by bobvan
[教师之家] 找工作过程中碰到好多人问南京某新换校长211的政策，规定如下 +15 ZHONGWU_U 2024-04-21 17/850 2024-04-24 05:12 by juta256
[考博] 研二光催化6月底4篇2区 +7 wjtab 2024-04-22 11/550 2024-04-23 06:59 by byron2012
[高分子] 请问UV灯是365nm的，那么选光引发剂的波长选多少的？要完全一致吗？ +4 engledd2004 2024-04-21 4/200 2024-04-22 16:08 by wangcz23
[论文投稿] 研究光催化的，好中的三四区 20+3 sl.0117 2024-04-20 3/150 2024-04-22 09:53 by bobvan
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭