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yupeng199新虫 (正式写手)
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[求助]
磁控溅射过程中靶材开裂且发黑 已有5人参与
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| 在制备过程中，预溅时的辉光颜色正常，但是正溅时辉光有些许变浅，同时分子泵在抽真空的过程中时间过长，之后取出靶材时，靶材表面裂缝处发黑，同时靶材与背靶铜之间的铟没了，一小块靶材脱落，这块靶材本身溅射次数太多，已发生开裂，请问这是为啥会黑呢，那这块靶材还能使用吗 |
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小米0锅巴
木虫 (正式写手)
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- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
7楼2022-10-11 15:44:13