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yupeng199新虫 (正式写手)
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磁控溅射过程中靶材开裂且发黑 已有5人参与
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| 在制备过程中，预溅时的辉光颜色正常，但是正溅时辉光有些许变浅，同时分子泵在抽真空的过程中时间过长，之后取出靶材时，靶材表面裂缝处发黑，同时靶材与背靶铜之间的铟没了，一小块靶材脱落，这块靶材本身溅射次数太多，已发生开裂，请问这是为啥会黑呢，那这块靶材还能使用吗 |
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ipwt5029 
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yupeng1992楼2022-09-25 13:00:05
3楼2022-09-26 17:30:19
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4楼2022-09-26 19:16:54
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5楼2022-09-26 19:18:00
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6楼2022-09-27 00:52:10
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7楼2022-10-11 15:44:13
8楼2022-10-12 13:17:02
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9楼2022-10-12 19:11:30