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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 科研生活 » 磁控溅射过程中靶材开裂且发黑
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yupeng199

新虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射过程中靶材开裂且发黑 已有5人参与

在制备过程中，预溅时的辉光颜色正常，但是正溅时辉光有些许变浅，同时分子泵在抽真空的过程中时间过长，之后取出靶材时，靶材表面裂缝处发黑，同时靶材与背靶铜之间的铟没了，一小块靶材脱落，这块靶材本身溅射次数太多，已发生开裂，请问这是为啥会黑呢，那这块靶材还能使用吗
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1楼 2022-09-20 16:48:56
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ipwt5029

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

开裂的不能继续使用了哦，影响均匀性
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yupeng199
2楼2022-09-25 13:00:05
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宁静致远233

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

可能是靶材中毒现象 大概和气氛有关系 检查是否漏气
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yupeng199
3楼2022-09-26 17:30:19
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yupeng199

新虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by ipwt5029 at 2022-09-25 13:00:05
开裂的不能继续使用了哦，影响均匀性

谢谢您，可能是我的功率太高了

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4楼2022-09-26 19:16:54
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yupeng199

新虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by 宁静致远233 at 2022-09-26 17:30:19
可能是靶材中毒现象 大概和气氛有关系 检查是否漏气

我查验了，没有地方漏气，别的靶没有问题，唯独这一块

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5楼2022-09-26 19:18:00
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r408062798

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

靶材表面发黑有可能是熔化的焊料被打散覆盖在表面了。另外，靶材开裂跟升功率的速率也有一定的关系，把升功率的速率降低，会有所改善。

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6楼2022-09-27 00:52:10
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小米0锅巴

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

背板冷却不足，功率上升导致靶材表面温度升高。还有焊接层铟在绑定的时候，铟层的厚度是否确认过。要排除铟层过薄的可能。
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7楼2022-10-11 15:44:13
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bluegenes

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

应该是温度过高，可能原因是溅射功率过高或者设备水冷出了问题。
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www.qiushan-tech.com
8楼2022-10-12 13:17:02
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科研材料X

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
9楼2022-10-12 19:11:30
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