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yupeng199新虫 (正式写手)
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[求助]
磁控溅射过程中靶材开裂且发黑 已有5人参与
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| 在制备过程中,预溅时的辉光颜色正常,但是正溅时辉光有些许变浅,同时分子泵在抽真空的过程中时间过长,之后取出靶材时,靶材表面裂缝处发黑,同时靶材与背靶铜之间的铟没了,一小块靶材脱落,这块靶材本身溅射次数太多,已发生开裂,请问这是为啥会黑呢,那这块靶材还能使用吗 |
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