应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 关于磁控溅射沉积薄膜中功率变化对薄膜成分的影响，求教各位大佬！
101/1返回列表
查看: 973  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者zxy3235566将赠送您 20 个金币

zxy3235566

新虫 (初入文坛)

[求助] 关于磁控溅射沉积薄膜中功率变化对薄膜成分的影响，求教各位大佬！ 已有2人参与

用的是RF磁控溅射设备，靶材是高熵合金（TiVCrNbSiTaBY），随着我增加功率，薄膜中比较轻的一个元素（Si）含量上升了，做的是氮化物薄膜，请各位大佬指点一下该怎么解释呀？
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2022-03-07 14:57:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zxy3235566

新虫 (初入文坛)
有做磁控的大佬解答一下嘛，困惑好久了~~~
赞一下 回复此楼
2楼2022-03-08 19:16:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
均匀性如何，是不是出现偏析了
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2022-03-10 12:57:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zxy3235566

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by kangye_1989 at 2022-03-10 12:57:47
均匀性如何，是不是出现偏析了

是均匀的，就是想知道有没有文献提过功率变高会更容易沉积轻元素的，麻烦大佬指点一下。
赞一下 回复此楼
4楼2022-03-10 18:44:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zxy3235566

新虫 (初入文坛)
顶一下~~等个大佬~~
回复此楼
5楼2022-03-14 13:08:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bluegenes

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

磁控溅射本质上类似于打台球，用Ar离子作白球，靶材做其他球，靶材中的轻质元素相对容易轰击出来
赞一下 回复此楼
www.qiushan-tech.com
6楼2022-03-29 23:27:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zxy3235566

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by bluegenes at 2022-03-29 23:27:11
磁控溅射本质上类似于打台球，用Ar离子作白球，靶材做其他球，靶材中的轻质元素相对容易轰击出来

感谢您的回答，我看过类似的文章，我的理解是在其他不变的情况下，靶材中轻质元素更易被溅射，如靶材是TI50%Si50%，那么得到的涂层可能是Ti55%Si55%，但我现在增加了功率，为什么Si含量会随着功率的增加而增加呢~希望能再解答一下
赞一下 回复此楼
7楼2022-04-12 22:09:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名

本帖仅楼主可见
赞一下
8楼2022-04-29 21:05:23
已阅   申请MEPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

匿名

本帖仅楼主可见
赞一下
9楼2022-04-29 21:06:41
已阅   申请MEPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

zxy3235566

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 明月芯 at 2022-04-29 21:06:41
你上面说的应该是Ti45%，Si55%吧？
...

对对对，打错了，就是普通的能谱，电子探针的能谱也用过
赞一下 回复此楼
10楼2022-05-04 17:51:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 zxy3235566 的主题更新
101/1返回列表
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0703化学调剂，求各位老师收留 +6 秋有木北 2026-03-14 6/300 2026-03-14 18:18 by houyaoxu
[基金申请] 面上和青基一样限30页不合理 +5 wowsunflower 2026-03-10 7/350 2026-03-14 17:21 by kingkocxr
[考研] 复试调剂 +3 呼呼？~+123456 2026-03-14 3/150 2026-03-14 16:53 by WTUChen
[考研] 一志愿哈工大材料324分求调剂 +5 闫旭东 2026-03-14 5/250 2026-03-14 14:53 by 木瓜膏
[考研] 267一志愿南京工业大学0817化工求调剂 +5 SUICHILD 2026-03-12 5/250 2026-03-14 14:53 by jean5056
[考研] 331求调剂（0703有机化学 +5 ZY-05 2026-03-13 6/300 2026-03-14 10:51 by Jy?
[考研] 理学化学调剂 +3 040517FYfy？ 2026-03-09 3/150 2026-03-14 03:09 by JourneyLucky
[考研] 材料工程专硕，一志愿中国矿业大学，总分314，求调剂 +5 无懈可击的巨人 2026-03-10 5/250 2026-03-14 00:37 by JourneyLucky
[考研] 一志愿华中农业大学071010，总分三百二,求调剂 +3 困困困困坤坤 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:35 by JourneyLucky
[考研] 341求调剂 +3 番茄头--- 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:07 by JourneyLucky
[考研] 329求调剂 +3 miaodesi 2026-03-12 4/200 2026-03-13 20:53 by 18595523086
[考研] 332求调剂 +3 Zz版 2026-03-13 3/150 2026-03-13 20:36 by 18595523086
[考研] 一志愿中科大材料与化工。353分能调剂到哪？ +5 MayUxw1 2026-03-08 11/550 2026-03-13 19:20 by MayUxw1
[考研] 求b区学校调剂 +3 周56 2026-03-11 3/150 2026-03-13 16:20 by JourneyLucky
[考研] 工科调剂 +4 Jiang191123！ 2026-03-11 4/200 2026-03-13 15:15 by Miko19
[考博] 26读博 +4 Rui135246 2026-03-12 10/500 2026-03-13 07:15 by gaobiao
[考研] 279求调剂 +3 莫xiao 2026-03-10 4/200 2026-03-11 08:06 by 斩魂滴兔子！
[考研] 哈工大材料324求调剂 +6 闫旭东 2026-03-10 8/400 2026-03-10 22:49 by 星空星月
[考研] 求调剂，数一英一274分 +4 小菲会努力 2026-03-08 4/200 2026-03-09 12:40 by 一定上岸哟_
[考研] 一志愿211 材料与化工 280求调剂 +3 Sanity蒋 2026-03-08 3/150 2026-03-09 06:35 by houyaoxu
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭