24小时热门版块排行榜    

查看: 981  |  回复: 9
【悬赏金币】回答本帖问题,作者zxy3235566将赠送您 20 个金币
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

zxy3235566

新虫 (初入文坛)

[求助] 关于磁控溅射沉积薄膜中功率变化对薄膜成分的影响,求教各位大佬! 已有2人参与

用的是RF磁控溅射设备,靶材是高熵合金(TiVCrNbSiTaBY),随着我增加功率,薄膜中比较轻的一个元素(Si)含量上升了,做的是氮化物薄膜,请各位大佬指点一下该怎么解释呀?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名

本帖仅楼主可见
8楼2022-04-29 21:05:23
已阅   申请MEPI   回复此楼   编辑   查看我的主页
查看全部 10 个回答

zxy3235566

新虫 (初入文坛)

有做磁控的大佬解答一下嘛,困惑好久了~~~
2楼2022-03-08 19:16:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
均匀性如何,是不是出现偏析了
3楼2022-03-10 12:57:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zxy3235566

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by kangye_1989 at 2022-03-10 12:57:47
均匀性如何,是不是出现偏析了

是均匀的,就是想知道有没有文献提过功率变高会更容易沉积轻元素的,麻烦大佬指点一下。
4楼2022-03-10 18:44:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
不应助 确定回帖应助 (注意:应助才可能被奖励,但不允许灌水,必须填写15个字符以上)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 中科大材料专硕319求调剂 +3 孟鑫材料 2026-03-13 3/150 2026-03-14 18:10 by houyaoxu
[考研] 211本,11408一志愿中科院277分,曾在中科院自动化所实习 +3 Losir 2026-03-12 3/150 2026-03-14 12:11 by 热情沙漠
[考研] 331求调剂(0703有机化学 +5 ZY-05 2026-03-13 6/300 2026-03-14 10:51 by Jy?
[考研] 337一志愿华南理工材料求调剂(有希望2吗?) +3 mysdl 2026-03-09 3/150 2026-03-14 02:53 by JourneyLucky
[考研] 301求调剂 +3 归零lbm 2026-03-09 3/150 2026-03-14 02:20 by JourneyLucky
[考研] 2026考研调剂+本科延边大学+山东大学+生物化学与分子生物学+有项目经验 +3 ccdsscjy 2026-03-09 6/300 2026-03-14 02:14 by JourneyLucky
[考研] 一志愿浙江大学0856材料与化工求调剂 +4 yansheng@211 2026-03-09 5/250 2026-03-14 02:10 by JourneyLucky
[考研] 求调剂! +4 朔朔话 2026-03-09 4/200 2026-03-14 01:38 by JourneyLucky
[考研] 考研材料与化工,求调剂 +8 戏精丹丹丹 2026-03-09 8/400 2026-03-14 01:14 by JourneyLucky
[考研] 304求调剂 +7 7712b 2026-03-13 7/350 2026-03-13 21:42 by peike
[考研] 085600材料与化工 309分请求调剂 +7 dtdxzxx 2026-03-12 8/400 2026-03-13 14:43 by jxchenghu
[考研] 材料调剂,307分 +13 张泳铭1 2026-03-09 17/850 2026-03-13 11:09 by 薛云鹏
[考研] 289求调剂 +3 李政莹 2026-03-12 3/150 2026-03-13 11:02 by 求调剂zz
[考研] 268求调剂 +4 好运连绵不绝 2026-03-12 4/200 2026-03-13 10:45 by hyswxzs
[考研] 0856化工原理 +6 z2839474511 2026-03-10 6/300 2026-03-13 10:41 by houyaoxu
[考研] 081200计算机科学与技术数一英一306求调剂 +3 intankt 2026-03-08 3/150 2026-03-11 10:50 by dandan413
[考研] 材料工程307,求调剂 +7 我要燃烧你的梦 2026-03-08 7/350 2026-03-11 09:09 by 剑诗杜康
[考研] 0856材料与化工353分求调剂 +11 NIFFFfff 2026-03-09 11/550 2026-03-10 18:36 by suyuanhai
[考研] 0703化学调剂 +3 三dd. 2026-03-10 3/150 2026-03-10 15:45 by peike
[基金申请] PDF在线压缩软件 10+3 haxia 2026-03-08 4/200 2026-03-10 13:44 by lfy8008
信息提示
请填处理意见