小尺寸硅片匀胶出现晕环？ - 微米和纳米 - 微纳加工

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jade_yang

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小尺寸硅片匀胶出现晕环？: 领取红包 (小木虫手机app专属红包)

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在对小尺寸硅片进行匀胶时（尺寸为10mm*10mm），出现了晕环，在更大尺寸或甚至更小（2*2mm）的硅片则没有看到此现象。
用的胶为ARP5350，尝试过多种转速，均有此现象，求解！
万分感谢

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1楼2022-03-01 18:55:40

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younghui

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晕环问题跟两个因素相关，一个是因为胶粘度比较大；另一个原因就是面积小的硅片，胶在甩出的过程中很快就遇到了边缘阻力所以晕环更为明显，可以尝试涂胶后，先使得胶能比较好的分散在片子上再旋涂，或者增加第一步低转速的时间。

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jade_yang

6楼2022-03-01 19:00:45

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cneo

铜虫 (著名写手)

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这是涂的不均匀

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10楼2022-03-01 19:50:44

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时间煮雨lv

禁虫 (正式写手)

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11楼2022-03-01 20:22:41

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jade_yang

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6楼: Originally posted by younghui at 2022-03-01 19:00:45
晕环问题跟两个因素相关，一个是因为胶粘度比较大；另一个原因就是面积小的硅片，胶在甩出的过程中很快就遇到了边缘阻力所以晕环更为明显，可以尝试涂胶后，先使得胶能比较好的分散在片子上再旋涂，或者增加第一步低 ...

感谢！第一个方法的话，我在涂胶的时候是略微过量覆盖了整个硅片的，一定程度上也是满足了您说的全部覆盖？第二个方法我尝试一下，万分感谢！

顺便想问下，这些类似的知识有书或者有什么渠道可以学吗