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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 小尺寸硅片匀胶出现晕环？
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jade_yang

新虫 (初入文坛)
已领完
小尺寸硅片匀胶出现晕环？
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在对小尺寸硅片进行匀胶时（尺寸为10mm*10mm），出现了晕环，在更大尺寸或甚至更小（2*2mm）的硅片则没有看到此现象。
用的胶为ARP5350，尝试过多种转速，均有此现象，求解！
万分感谢

小尺寸硅片匀胶出现晕环？


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1楼2022-03-01 18:55:40
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cneo

铜虫 (著名写手)
这是涂的不均匀

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10楼2022-03-01 19:50:44
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