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小尺寸硅片匀胶出现晕环?
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jade_yang
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小尺寸硅片匀胶出现晕环?
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在对小尺寸硅片进行匀胶时(尺寸为10mm*10mm),出现了晕环,在更大尺寸或甚至更小(2*2mm)的硅片则没有看到此现象。
用的胶为ARP5350,尝试过多种转速,均有此现象,求解!
万分感谢
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2022-03-01 18:55:40
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younghui
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晕环问题跟两个因素相关,一个是因为胶粘度比较大;另一个原因就是面积小的硅片,胶在甩出的过程中很快就遇到了边缘阻力所以晕环更为明显,可以尝试涂胶后,先使得胶能比较好的分散在片子上再旋涂,或者增加第一步低转速的时间。
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jade_yang
6楼
2022-03-01 19:00:45
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这是涂的不均匀
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10楼
2022-03-01 19:50:44
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时间煮雨lv
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jade_yang
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6楼
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Originally posted by
younghui
at 2022-03-01 19:00:45
晕环问题跟两个因素相关,一个是因为胶粘度比较大;另一个原因就是面积小的硅片,胶在甩出的过程中很快就遇到了边缘阻力所以晕环更为明显,可以尝试涂胶后,先使得胶能比较好的分散在片子上再旋涂,或者增加第一步低 ...
感谢!第一个方法的话,我在涂胶的时候是略微过量覆盖了整个硅片的,一定程度上也是满足了您说的全部覆盖?第二个方法我尝试一下,万分感谢!
顺便想问下,这些类似的知识有书或者有什么渠道可以学吗
我本身做电路的,做这个算半路出家,项目要求才搞一下的,有些完全不太懂
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12楼
2022-03-02 20:26:39
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看上去像真空吸盘留下的痕迹,应该是片子变形造成的,再次可能是温度不一致造成的。
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13楼
2022-03-02 21:44:09
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younghui
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12楼
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Originally posted by
jade_yang
at 2022-03-02 20:26:39
感谢!第一个方法的话,我在涂胶的时候是略微过量覆盖了整个硅片的,一定程度上也是满足了您说的全部覆盖?第二个方法我尝试一下,万分感谢!
顺便想问下,这些类似的知识有书或者有什么渠道可以学吗
我本身做 ...
向这些工艺细节的描述,书中介绍的会比较少,很多都是经验,如有需要可以交流,我是做器件工艺的,互补。
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14楼
2022-04-27 12:02:24
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秋土豆香
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zzyxiang2012
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tzynew
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专送一血
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chenhuanlong
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覃勇诚
9楼
2022-03-01 19:16
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