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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 小尺寸硅片匀胶出现晕环？
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jade_yang

新虫 (初入文坛)
已领完
小尺寸硅片匀胶出现晕环？
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在对小尺寸硅片进行匀胶时（尺寸为10mm*10mm），出现了晕环，在更大尺寸或甚至更小（2*2mm）的硅片则没有看到此现象。
用的胶为ARP5350，尝试过多种转速，均有此现象，求解！
万分感谢

小尺寸硅片匀胶出现晕环？


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1楼2022-03-01 18:55:40
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younghui

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
12楼: Originally posted by jade_yang at 2022-03-02 20:26:39
感谢！第一个方法的话，我在涂胶的时候是略微过量覆盖了整个硅片的，一定程度上也是满足了您说的全部覆盖？第二个方法我尝试一下，万分感谢！
顺便想问下，这些类似的知识有书或者有什么渠道可以学吗我本身做 ...

向这些工艺细节的描述，书中介绍的会比较少，很多都是经验，如有需要可以交流，我是做器件工艺的，互补。
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14楼2022-04-27 12:02:24
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younghui

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
晕环问题跟两个因素相关，一个是因为胶粘度比较大；另一个原因就是面积小的硅片，胶在甩出的过程中很快就遇到了边缘阻力所以晕环更为明显，可以尝试涂胶后，先使得胶能比较好的分散在片子上再旋涂，或者增加第一步低转速的时间。
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jade_yang
6楼2022-03-01 19:00:45
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cneo

铜虫 (著名写手)
这是涂的不均匀

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10楼2022-03-01 19:50:44
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时间煮雨lv

禁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
11楼2022-03-01 20:22:41
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tzynew4楼
2022-03-01 18:57   回复  
jade_yang(金币+2): 谢谢参与
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zzyxiang20123楼
2022-03-01 18:56   回复  
jade_yang(金币+2): 谢谢参与
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chenhuanlong8楼
2022-03-01 19:03   回复  
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专送一血7楼
2022-03-01 19:01   回复  
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秋土豆香2楼
2022-03-01 18:55   回复  
jade_yang(金币+2): 谢谢参与
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6号枫木塔5楼
2022-03-01 18:58   回复  
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覃勇诚9楼
2022-03-01 19:16   回复  
jade_yang(金币+1): 谢谢参与
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