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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 建一个MEMS Foundry实验线或研发线要多少资金
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芯片树懒

新虫 (初入文坛)

[交流] 建一个MEMS Foundry实验线或研发线要多少资金

谁能帮忙分析一下，建一个小型的MEMS Foundry线需要多少钱，只是用来做实验线，包含基础工艺以及RIE刻蚀，Litho，Bonding工艺
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1楼 2022-01-20 15:26:23
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babyoflion

金虫 (著名写手)
一千万左右

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2楼2022-01-20 21:47:54
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babyoflion

金虫 (著名写手)
国产 500万

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3楼2022-01-20 21:48:43
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芯片树懒

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2022-01-20 21:47:54
一千万左右

能稍微细化一下么
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4楼2022-01-21 10:32:39
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芯片树懒

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by babyoflion at 2022-01-20 21:48:43
国产 500万

Litho光刻机就需要几百万吧
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5楼2022-01-21 10:33:49
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babyoflion

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不同精度和配置差别太多了，你这么问别人只能这么答

发自小木虫Android客户端
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6楼2022-01-21 10:36:10
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
芯片树懒: 金币+3 2022-01-25 09:00:43
湿法腐蚀清洗槽、光刻机，PECVD，溅射或者蒸发、RIE，键合，，大于2um线宽光刻机至少弄一台SUSS。这些应该就够了。离子注入（贵），深硅刻蚀（贵）都可以委外
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7楼2022-01-23 14:29:23
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迷失人生..

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by MEMSlee at 2022-01-23 14:29:23
湿法腐蚀清洗槽、光刻机，PECVD，溅射或者蒸发、RIE，键合，，大于2um线宽光刻机至少弄一台SUSS。这些应该就够了。离子注入（贵），深硅刻蚀（贵）都可以委外

我们这边有完整的MEMS产线
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8楼2022-02-07 13:28:45
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bobo201266

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
有钱没地方花可以投一下，投入还好。关键是环评和后期的持续投入。

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9楼2022-02-11 09:05:05
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wang520071

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个问题太宽泛了，不同的设备配置差价应比较大。如有这方面计划，在超净间建设这方面，我可以提供帮助。包含规划设计，施工。详询13824304127@163.com
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10楼2022-02-14 18:46:53
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