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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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芯片树懒

新虫 (初入文坛)

[交流] 建一个MEMS Foundry实验线或研发线要多少资金

谁能帮忙分析一下,建一个小型的MEMS Foundry线需要多少钱,只是用来做实验线,包含基础工艺以及RIE刻蚀,Litho,Bonding工艺
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babyoflion

金虫 (著名写手)

3楼2022-01-20 21:48:43
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babyoflion

金虫 (著名写手)

2楼2022-01-20 21:47:54
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芯片树懒

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2022-01-20 21:47:54
一千万左右

能稍微细化一下么
4楼2022-01-21 10:32:39
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芯片树懒

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by babyoflion at 2022-01-20 21:48:43
国产 500万

Litho光刻机就需要几百万吧
5楼2022-01-21 10:33:49
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