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芯片树懒

新虫 (初入文坛)

[交流] 建一个MEMS Foundry实验线或研发线要多少资金

谁能帮忙分析一下,建一个小型的MEMS Foundry线需要多少钱,只是用来做实验线,包含基础工艺以及RIE刻蚀,Litho,Bonding工艺
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wang520071

铁虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这个问题太宽泛了,不同的设备配置差价应比较大。如有这方面计划,在超净间建设这方面,我可以提供帮助。包含规划设计,施工。详询13824304127@163.com
10楼2022-02-14 18:46:53
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babyoflion

金虫 (著名写手)

2楼2022-01-20 21:47:54
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babyoflion

金虫 (著名写手)

3楼2022-01-20 21:48:43
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芯片树懒

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2022-01-20 21:47:54
一千万左右

能稍微细化一下么
4楼2022-01-21 10:32:39
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