24小时热门版块排行榜    

查看: 1198  |  回复: 9
【有奖交流】积极回复本帖子,参与交流,就有机会分得作者 芯片树懒 的 2 个金币
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

芯片树懒

新虫 (初入文坛)

[交流] 建一个MEMS Foundry实验线或研发线要多少资金

谁能帮忙分析一下,建一个小型的MEMS Foundry线需要多少钱,只是用来做实验线,包含基础工艺以及RIE刻蚀,Litho,Bonding工艺
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)


★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
芯片树懒: 金币+3 2022-01-25 09:00:43
湿法腐蚀清洗槽、光刻机,PECVD,溅射或者蒸发、RIE,键合,,大于2um线宽光刻机至少弄一台SUSS。这些应该就够了。离子注入(贵),深硅刻蚀(贵)都可以委外
7楼2022-01-23 14:29:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

babyoflion

金虫 (著名写手)

2楼2022-01-20 21:47:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

3楼2022-01-20 21:48:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

芯片树懒

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2022-01-20 21:47:54
一千万左右

能稍微细化一下么
4楼2022-01-21 10:32:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
信息提示
请填处理意见